公开(公告)号：CN104701216A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201410665105.9

申请日：2014-11-19

申请人： PSK有限公司

发明人： 徐元范 ,  金龙植 ,  蔡熙善

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01L21/67 ,  H01J37/32431 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

摘要： 本发明涉及基板处理设备及基板处理方法。本发明的一个实施例的基板处理设备包括：托盘，其用于装载基板；搬入单元，其搬入装载有电浆处理前的该基板的该托盘；夹具，其用于将该托盘配置于其上部；加载埠，其用于使该夹具待机；电浆处理单元，其能够在该托盘及该夹具搬入后执行对该基板的电浆处理；搬出单元，其搬出装载有电浆处理后的该基板的该托盘。

公开(公告)号：CN104105329A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410139668.4

申请日：2014-04-09

申请人： PSK有限公司

发明人： 金龙植 ,  徐元范 ,  朴知训 ,  南承庆

IPC分类号： H05H1/46

摘要： 本发明涉及能够正确且迅速地将一定电力传输至多个等离子体腔室的电力供给装置和方法及利用该装置和方法的基板处理装置。根据本发明的一个实施例的电力供给装置包含：RF电源部，其提供RF信号；阻抗匹配部，其使被供给上述RF信号的多个负载的阻抗匹配；电力调节部，其包含连接于上述多个负载中的一部分的可变阻抗元件及连接于上述多个负载中的剩余部分的固定阻抗元件，并且调节向各个负载供给的电量；传感器部，其感知对各个负载施加的RF信号；以及控制部，其基于上述传感器部的感知数据而控制上述可变阻抗元件的阻抗。