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公开(公告)号：CN113552769A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110438836.X
申请日：2021-04-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种可获得显影密接性优异的膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件、显示元件以及聚合物。一种感放射线性组合物，含有：包含具有式(1)所表示的基的结构单元(I)的聚合物、光酸产生剂、及原酸酯化合物。式(1)中，R1为氢原子、卤素原子、羟基或碳数1～6的烷氧基。R2及R3分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基。“*”表示键结键。
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公开(公告)号：CN110320746A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910206932.4
申请日：2019-03-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异，且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物，其包含：聚合体成分(A)，在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II)；以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号：CN115268214A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210464152.1
申请日：2022-04-29
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可形成显影密接性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制法、半导体及显示元件。感放射线性组合物，含有：聚合物，为选自由包含具有式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元(I)的聚合物及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种；光酸产生剂；以及具有疏水性基与羟基键结于硅原子上而成的部分结构、且不具有烷氧基的硅醇化合物。式(1)中，R1、R2及R3分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基。其中，R1、R2及R3中的一个以上为碳数1～6的烷氧基。“*”表示键结键。
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公开(公告)号：CN115963697A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211243548.X
申请日：2022-10-11
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可形成显影密接性及硬化密接性优异的膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示装置。一种感放射线性组合物，含有：(A‑1)聚合体，为选自由包含具有式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元的聚合体及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种；(B‑1)光酸产生剂；(C‑1)溶剂；以及(E)化合物，具有选自由烷氧基硅烷基、氧杂环丙基、氧杂环丁基、巯基、(甲基)丙烯酰基、乙烯基及氨基所组成的群组中的至少一种官能基(X)、与卡多结构。式(1)中，R1、R2及R3为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基。其中，R1、R2及R3中的至少一个为碳数1～6的烷氧基。
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公开(公告)号：CN109581811A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811098945.6
申请日：2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可获得解析度高、对于金属配线的腐蚀性低的经图案化的膜的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。一种感放射线性树脂组合物，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)；感放射线性化合物(B)；有机溶媒(D)；以及水(E)；并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113515024A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110380337.X
申请日：2021-04-09
Abstract: 本发明提供一种即使使用LED光源，也能够对放射线敏感性组合物赋予高的透射性、抑制气泡的产生的放射线敏感性组合物的处理方法。本发明的放射线敏感性组合物的处理方法的特征在于，放射线敏感性组合物具有：作为具有酸基的自由基聚合性化合物(a)、具有环氧基的自由基聚合性化合物(b)、以及其他自由基聚合性化合物(c)的共聚物的可溶于碱水溶液的树脂(A)和放射线敏感性产酸化合物(B)，其中，所述方法包含下述工序(α)：从LED元件对放射线敏感性组合物照射主峰值波长在375nm以上且395nm以下的范围内的紫外线，提高放射线敏感性组合物的透射率。
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公开(公告)号：CN109581812A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811098959.8
申请日：2018-09-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中，源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外)；感放射线性化合物(B)；以及有机溶媒(G)。
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公开(公告)号：CN110320746B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN201910206932.4
申请日：2019-03-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、显示元件及显示装置。感放射线性组合物的放射线感度优异，且可形成耐化学品性高、对金属配线的腐蚀性低的硬化膜。感放射线性组合物，其包含：聚合体成分(A)，在同一或不同的聚合体中具有源自马来酰亚胺的结构单元(I)及含有烷氧基硅烷基的结构单元(II)；以及感放射线性化合物(B)。
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公开(公告)号：CN117148680A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310618591.8
申请日：2023-05-30
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种放射线灵敏度高且预烘烤裕度及耐干燥性优异的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置。一种感放射线性组合物，含有：(A‑1)聚合体，选自由包含具有式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元(I)的聚合体及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种；(B‑1)光酸产生剂；以及(D)溶剂，(D)溶剂包含沸点为180℃以上且汉森溶解度参数的氢键项δH为3.0以上且13.0以下的溶剂(D1)。式(1)中，R1、R2及R3为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基。其中，R1、R2及R3中的至少一个为碳数1～6的烷氧基。
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公开(公告)号：CN115704995A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210928426.8
申请日：2022-08-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造介电常数低且硬化性良好的膜的硬化性组合物、硬化膜及其应用、有机电致发光元件、液晶显示元件、半导体元件、印刷基板、硬化膜的制造方法、以及聚合物。硬化性组合物，含有(A)成分：具有下述式(1)所表示的基的化合物；及(B)成分：溶剂。式(1)中，R1为氢原子或酸解离性基。“*”表示键结键。
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