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发明公开
感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置审中-公开转让

公开(公告)号：CN117148680A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202310618591.8

申请日：2023-05-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 桥本律 , 成子朗人 , 浅冈高英 , 三村时生

IPC: G03F7/075 , G03F7/00 , G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种放射线灵敏度高且预烘烤裕度及耐干燥性优异的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置。一种感放射线性组合物，含有：(A‑1)聚合体，选自由包含具有式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元(I)的聚合体及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种；(B‑1)光酸产生剂；以及(D)溶剂，(D)溶剂包含沸点为180℃以上且汉森溶解度参数的氢键项δH为3.0以上且13.0以下的溶剂(D1)。式(1)中，R1、R2及R3为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基或苯基。其中，R1、R2及R3中的至少一个为碳数1～6的烷氧基。

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