公开(公告)号：CN101331593A

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200680047185.5

申请日：2006-12-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田宪彦 ,  植野富和

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

Abstract: 化学机械研磨用水系分散体，其含有(A)细孔容积为0.14ml/g以上的磨粒和(B)分散介质。

公开(公告)号：CN100565813C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200680047185.5

申请日：2006-12-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田宪彦 ,  植野富和

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

Abstract: 化学机械研磨用水系分散体，其含有(A)细孔容积为0.14ml/g以上的磨粒和(B)分散介质。

公开(公告)号：CN101946309A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200880126610.9

申请日：2008-12-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 元成正之 ,  国谷英一郎 ,  植野富和 ,  饭岛孝浩 ,  松田隆志

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/31053 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明的化学机械研磨用水系分散体包含(A)在主干聚合物部具有阴离子性官能团的接枝聚合物和(B)磨粒。