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发明公开
化学机械研磨用水系分散体以及化学机械研磨方法无效

公开(公告)号：CN101946309A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200880126610.9

申请日：2008-12-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 元成正之 , 国谷英一郎 , 植野富和 , 饭岛孝浩 , 松田隆志

IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14

CPC classification number: H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/3212

Abstract: 本发明的化学机械研磨用水系分散体包含(A)在主干聚合物部具有阴离子性官能团的接枝聚合物和(B)磨粒。

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