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公开(公告)号：CN1973207A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580013438.2
申请日：2005-04-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种片状探测器，具有：绝缘层，接点膜，具有在上述绝缘层上沿其面方向分开设置的、沿上述绝缘层厚度方向贯穿而延伸的多个电极结构体；其特征在于，各电极结构体具有：表面电极部，从绝缘层的表面露出，并从绝缘层的表面突出来，从其底端到顶端，直径变小，背面电极部，从绝缘层的背面露出来，短路部，沿上述绝缘层的厚度方向，从表面电极部的底端连续贯穿上述绝缘层而延伸，并与背面电极部连接；其中表面电极部的底端直径比短路部的与表面电极部相连的那一端的直径大；短路部的厚度比上述绝缘层的厚度大。
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公开(公告)号：CN1957259A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200580016592.5
申请日：2005-04-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 提供下述的片状探针及其制造方法：即使对具有微小且微细间距的电极的电路装置也能达到稳定的连接状态，电极结构体不从绝缘膜脱落，可得到高的耐久性，对大面积的晶片或被检查电极的间距小的电路装置在老化试验中能可靠地防止因温度变化引起的电极结构体与被检查电极的位置偏移，稳定地维持良好的连接状态。本发明的片状探针具备具有多个在厚度方向上延伸的电极结构体的绝缘层和支撑该绝缘层的金属框板，电极结构体由下述部分构成：在绝缘层的表面突出的表面电极部；在绝缘层的背面上露出的背面电极部；从表面电极部的基端起连续地在绝缘层的厚度方向上延伸并与背面电极部连结的短路部；以及从表面电极部的基端部分起连续地沿绝缘层的表面延伸到外侧的保持部，本发明的制造方法的特征在于：对表面电极部和短路部个别地充填金属。
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公开(公告)号：CN1765032A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200480008126.8
申请日：2004-03-23
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H01R13/2414 , H01L2924/00
Abstract: 本申请公开的是一种各向异性导电连接器及其应用，由此即使当在在晶片上形成的多个集成电路的电检查中被重复使用大量次数时，也长时间保持了良好的导电性，从而得到高的耐用性和长的使用寿命。本发明的各向异性导电连接器包含弹性各向异性导电膜，其中已经形成了包含导电颗粒且沿膜厚度方向延伸的用于连接的多个导电部分。借助于对显现磁性的核心颗粒表面与高度导电的金属组成的涂层进行层叠，来获得包含在各向异性导电连接器中用于连接的导电部分内的导电颗粒，此涂层是一种硬度高的涂层。
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公开(公告)号：CN1788202A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200480012880.9
申请日：2004-05-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/0735 , G01R3/00
Abstract: 公开了一种在检查对象即便是直径8英寸以上的大面积的晶片或者被检查电极的间距极小的电路装置时，在老化试验中也能够可靠地防止由于温度变化导致的电极结构体和被检查电极的位置偏移，因而能够稳定地维持良好的电连接状态的片状探头及其制造方法以及其应用。本发明的片状探头，具有：按照对应于分别应连接的电极的图案配置的、具有露出在表面的表面电极部以及露出在背面的背面电极部的多个电极结构体被由柔软的树脂构成的绝缘膜所保持而构成的接点膜，以及支持该接点膜的框板。
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公开(公告)号：CN1685568A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN03822988.9
申请日：2003-08-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L23/60 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了这样的一种各向异性导电片及其生产方法和它的应用，即使在高温环境下将它保持在通过连接的对象挤压的状态下较长的时间时，该各向异性导电片仍然不污染连接的对象，也不粘连到连接的对象，并且可以阻止或抑制电荷累积以消除静电的不利影响。根据本发明的各向异性导电片具有由弹性聚合物形成的各向异性导电片体和整体地形成在各向异性导电片体上的一个或两个表面上以至少覆盖绝缘部件的DLC膜，该各向异性导电片体具有在片体的厚度方向上延伸的多个导电部件和使这些导电部件相互绝缘的绝缘部件。
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公开(公告)号：CN1675755A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03818910.0
申请日：2003-08-07
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/06711 , G01R1/06755 , G01R1/07314 , G01R3/00 , G01R31/2889 , H01L2924/0002 , H01R12/714 , H01R13/2414 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种各向异性导电连接器及其应用，通过它，可在长时间段上保持良好的导电性，即使其被重复使用多次，或在高温环境下重复使用。该各向异性导电连接器是具有弹性各向异性导电膜的各向异性导电连接器，其中形成有多个在膜厚度方向延伸的用于连接的导电部件。该弹性各向异性导电膜具有初始特性，假定用于连接的导电部件的总的数目是Y，该用于连接的导电部件的电阻是R1g，该用于连接的导电部件处于这样的状态，即Y×1g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上，和用于连接的导电部件的电阻是R6g，该用于连接的导电部件处于这样的状态，即Y×6g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上，电阻R1g的值低于1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的90％，电阻R6g的值低于0.1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的95％，电阻R6g的值至少为0.5Ω的用于连接的导电部件的数目至多为总的用于连接的导电部件的数目的1％。
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公开(公告)号：CN100539061C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200580010268.2
申请日：2005-03-30
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07364 , G01R1/07314 , G01R1/07371 , G01R1/07378
Abstract: 提供了晶片检测设备、晶片检测方法以及探针设备，通过它们，可以对待检测的许多电极共同地执行电检测，在小负载下，对待检测的所有电极，可以肯定地实现良好的电连接状态。本发明的探针设备包括具有许多检测电极的用于检测电路板，具有用于连接的电路板(具有许多端电极和接触构件)的探针卡，位于用于检测的电路板和用于连接的电路板之间的并使得相应的检测电极与相应的端电极电连接的各向异性导电连接器，以及用于调节用于检测的电路板与用于连接晶片的电路板的平行性的平行性调节机构。平行性调节机构配备有位置改变机构，该机构在各向异性导电连接器的厚度方向相对地位移用于检测的电路板或用于连接的电路板。晶片检测设备配备有探针设备。
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公开(公告)号：CN100451659C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200580013438.2
申请日：2005-04-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种片状探测器，具有：绝缘层，接点膜，具有在上述绝缘层上沿其面方向分开设置的、沿上述绝缘层厚度方向贯穿而延伸的多个电极结构体；其特征在于，各电极结构体具有：表面电极部，从绝缘层的表面露出，并从绝缘层的表面突出来，从其底端到顶端，直径变小，背面电极部，从绝缘层的背面露出来，短路部，沿上述绝缘层的厚度方向，从表面电极部的底端连续贯穿上述绝缘层而延伸，并与背面电极部连接；其中表面电极部的底端直径比短路部的与表面电极部相连的那一端的直径大；短路部的厚度比上述绝缘层的厚度大。
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公开(公告)号：CN100449871C
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200480010091.1
申请日：2004-04-05
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01R13/2414 , G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L23/49838 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种各向异性导电连接器以及具有上述各向异性导电连接器的电路装置的电气检查装置。根据本发明，即使对于时钟频率大于等于例如1GHz的电路装置也可以进行期望的电气检查。本发明的各向异性导电连接器具有按照对应于应连接的电极的图案而配置的、沿厚度方向延伸的多个连接用导电部分、和将上述导电部分相互绝缘的绝缘部分，其特征在于，所述弹性各向异性导电膜中形成有沿厚度方向延伸的高频屏蔽用导电部分。本发明的电路装置的电气检查装置的特征在于具有上述的各向异性导电连接器。
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公开(公告)号：CN100413045C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN03818910.0
申请日：2003-08-07
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/06711 , G01R1/06755 , G01R1/07314 , G01R3/00 , G01R31/2889 , H01L2924/0002 , H01R12/714 , H01R13/2414 , H01L2924/00
Abstract: 一种各向异性导电连接器，探针元件，和晶片检测仪器及晶片检测方法。该各向异性导电连接器是具有弹性各向异性导电膜的各向异性导电连接器，其中形成有多个在膜厚度方向延伸的用于连接的导电部件。该弹性各向异性导电膜具有初始特性，假定用于连接的导电部件的总的数目是Y，该用于连接的导电部件处于这样的状态，即Y×6g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上，电阻R1g的值低于1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的90%，电阻R6g的值低于0.1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的95%。
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