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公开(公告)号:CN100468867C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN03822988.9
申请日:2003-08-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L23/60 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了这样的一种各向异性导电片及其生产方法和它的应用,即使在高温环境下将它保持在通过连接的对象挤压的状态下较长的时间时,该各向异性导电片仍然不污染连接的对象,也不粘连到连接的对象,并且可以阻止或抑制电荷累积以消除静电的不利影响。根据本发明的各向异性导电片具有由弹性聚合物形成的各向异性导电片体和整体地形成在各向异性导电片体上的一个或两个表面上以至少覆盖绝缘部件的DLC膜,该各向异性导电片体具有在片体的厚度方向上延伸的多个导电部件和使这些导电部件相互绝缘的绝缘部件。
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公开(公告)号:CN100468065C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200580015971.2
申请日:2005-05-18
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用,其允许形成小直径的前表面电极部分,并可靠地实现稳定的电连接状态,即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置,并且其防止电极结构从绝缘膜脱落,以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜,其通过在挠性绝缘膜中设置多个电板结构而获得,这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿,其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露,并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分,其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。
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公开(公告)号:CN1774838A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200480010091.1
申请日:2004-04-05
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01R13/2414 , G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L23/49838 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种各向异性导电连接器以及具有上述各向异性导电连接器的电路装置的电气检查装置。根据本发明,即使对于时钟频率大于等于例如1GHz的电路装置也可以进行期望的电气检查。本发明的各向异性导电连接器具有按照对应于应连接的电极的图案而配置的、沿厚度方向延伸的多个连接用导电部分、和将上述导电部分相互绝缘的绝缘部分,其特征在于,所述弹性各向异性导电膜中形成有沿厚度方向延伸的高频屏蔽用导电部分。本发明的电路装置的电气检查装置的特征在于具有上述的各向异性导电连接器。
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公开(公告)号:CN1692283A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200380100560.4
申请日:2003-10-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/06711 , G01R1/06733 , H01L23/49811 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01R11/01 , H01R12/523 , H05K1/116 , H05K3/4007 , H05K3/423 , H05K2201/0367 , H05K2201/0394 , H05K2201/09436 , H05K2201/09481 , H05K2203/0733 , H01L2924/00
Abstract: 此处公开了一种片状连接器,在所述片状连接器中可形成各具有一个直径较小的正面电极部件的电极结构,并且可确保实现甚至是到一个其上以小间隔形成电极的电路设备的稳定电连接,并且防止电极结构从一块绝缘片脱落以实现高耐用性,还公开了其生产过程和应用。本发明所述的片状连接器具有一块绝缘片和多个电极结构,所述电极结构安排在绝缘片上,并且沿绝缘片的厚度方向延伸。每个电极结构由一个正面电极部件、一个背面电极部件、一个短路部件和一个支撑部件组成,其中所述的正面电极部件暴露给所述绝缘片的一个正面,并且从所述绝缘片的正面凸出,所述的背面电极部件暴露给所述绝缘片的一个背面,所述短路部件从所述的正面电极部件的底端沿着所述绝缘片的厚度方向穿过所述绝缘片连续延伸,并且连接到所述的背面电极部件,所述支撑部件从所述的正面电极部件的一个底端部分沿着所述绝缘片的正面向外连续延伸。
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公开(公告)号:CN1973207A
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200580013438.2
申请日:2005-04-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种片状探测器,具有:绝缘层,接点膜,具有在上述绝缘层上沿其面方向分开设置的、沿上述绝缘层厚度方向贯穿而延伸的多个电极结构体;其特征在于,各电极结构体具有:表面电极部,从绝缘层的表面露出,并从绝缘层的表面突出来,从其底端到顶端,直径变小,背面电极部,从绝缘层的背面露出来,短路部,沿上述绝缘层的厚度方向,从表面电极部的底端连续贯穿上述绝缘层而延伸,并与背面电极部连接;其中表面电极部的底端直径比短路部的与表面电极部相连的那一端的直径大;短路部的厚度比上述绝缘层的厚度大。
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公开(公告)号:CN1957259A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200580016592.5
申请日:2005-04-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 提供下述的片状探针及其制造方法:即使对具有微小且微细间距的电极的电路装置也能达到稳定的连接状态,电极结构体不从绝缘膜脱落,可得到高的耐久性,对大面积的晶片或被检查电极的间距小的电路装置在老化试验中能可靠地防止因温度变化引起的电极结构体与被检查电极的位置偏移,稳定地维持良好的连接状态。本发明的片状探针具备具有多个在厚度方向上延伸的电极结构体的绝缘层和支撑该绝缘层的金属框板,电极结构体由下述部分构成:在绝缘层的表面突出的表面电极部;在绝缘层的背面上露出的背面电极部;从表面电极部的基端起连续地在绝缘层的厚度方向上延伸并与背面电极部连结的短路部;以及从表面电极部的基端部分起连续地沿绝缘层的表面延伸到外侧的保持部,本发明的制造方法的特征在于:对表面电极部和短路部个别地充填金属。
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公开(公告)号:CN1765032A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200480008126.8
申请日:2004-03-23
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H01R13/2414 , H01L2924/00
Abstract: 本申请公开的是一种各向异性导电连接器及其应用,由此即使当在在晶片上形成的多个集成电路的电检查中被重复使用大量次数时,也长时间保持了良好的导电性,从而得到高的耐用性和长的使用寿命。本发明的各向异性导电连接器包含弹性各向异性导电膜,其中已经形成了包含导电颗粒且沿膜厚度方向延伸的用于连接的多个导电部分。借助于对显现磁性的核心颗粒表面与高度导电的金属组成的涂层进行层叠,来获得包含在各向异性导电连接器中用于连接的导电部分内的导电颗粒,此涂层是一种硬度高的涂层。
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公开(公告)号:CN1788202A
公开(公告)日:2006-06-14
申请号:CN200480012880.9
申请日:2004-05-12
Applicant: JSR株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/0735 , G01R3/00
Abstract: 公开了一种在检查对象即便是直径8英寸以上的大面积的晶片或者被检查电极的间距极小的电路装置时,在老化试验中也能够可靠地防止由于温度变化导致的电极结构体和被检查电极的位置偏移,因而能够稳定地维持良好的电连接状态的片状探头及其制造方法以及其应用。本发明的片状探头,具有:按照对应于分别应连接的电极的图案配置的、具有露出在表面的表面电极部以及露出在背面的背面电极部的多个电极结构体被由柔软的树脂构成的绝缘膜所保持而构成的接点膜,以及支持该接点膜的框板。
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公开(公告)号:CN1685568A
公开(公告)日:2005-10-19
申请号:CN03822988.9
申请日:2003-08-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L23/60 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了这样的一种各向异性导电片及其生产方法和它的应用,即使在高温环境下将它保持在通过连接的对象挤压的状态下较长的时间时,该各向异性导电片仍然不污染连接的对象,也不粘连到连接的对象,并且可以阻止或抑制电荷累积以消除静电的不利影响。根据本发明的各向异性导电片具有由弹性聚合物形成的各向异性导电片体和整体地形成在各向异性导电片体上的一个或两个表面上以至少覆盖绝缘部件的DLC膜,该各向异性导电片体具有在片体的厚度方向上延伸的多个导电部件和使这些导电部件相互绝缘的绝缘部件。
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公开(公告)号:CN1496597A
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN02806241.8
申请日:2002-02-06
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01R13/2414 , H01R43/007
Abstract: 提供一种各向异性导电性连接器、其制造方法以及探针构件,通过这种各向异性导电性连接器,即使晶片的面积较大,并且即使以较小的间距排列被检查电路,也可以很容易地在被检查晶片上定位、固定和安装该各向异性导电性连接器,并且,在该各向异性导电性连接器中,对于所有连接用导电部分可以保证实现良好的导电性,并且可以保证在相邻的导电部分之间实现绝缘性。该各向异性导电性连接器包含框板和多个弹性各向异性导电膜,该框板具有与晶片的被检查电极的区域对应而形成的多个各向异性导电膜配置用孔,该弹性各向异性导电膜配置于各个各向异性导电膜配置用孔中并由其周缘部分支撑。每个弹性各向异性导电膜包含功能部分和被支撑部分,该功能部分包含多个导电部分和绝缘部分,该导电部分与被检查电极相对应而配置,它包含高密度的表现出磁性的粒子并沿膜的厚度方向延伸,该绝缘部分使这些导电部分相互绝缘,该被支撑部分整体形成于功能部分的周缘部分上并固定于该框板中的用于配置各向异性导电膜的内周缘上,并且该被支撑部分包含表现为磁性的导电性粒子。
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