公开(公告)号：CN100451659C

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200580013438.2

申请日：2005-04-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤克己 ,  井上和夫 ,  藤山等 ,  吉冈睦彦 ,  五十岚久夫

IPC: G01R1/06 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: A63H29/22 ,  A63H30/04 ,  A63H31/00 ,  F16H48/08 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/0735 ,  G01R3/00 ,  H01L51/5012 ,  H05B33/14 ,  Y10T29/49155

Abstract: 本发明提供一种片状探测器，具有：绝缘层，接点膜，具有在上述绝缘层上沿其面方向分开设置的、沿上述绝缘层厚度方向贯穿而延伸的多个电极结构体；其特征在于，各电极结构体具有：表面电极部，从绝缘层的表面露出，并从绝缘层的表面突出来，从其底端到顶端，直径变小，背面电极部，从绝缘层的背面露出来，短路部，沿上述绝缘层的厚度方向，从表面电极部的底端连续贯穿上述绝缘层而延伸，并与背面电极部连接；其中表面电极部的底端直径比短路部的与表面电极部相连的那一端的直径大；短路部的厚度比上述绝缘层的厚度大。

公开(公告)号：CN1973207A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580013438.2

申请日：2005-04-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤克己 ,  井上和夫 ,  藤山等 ,  吉冈睦彦 ,  五十岚久夫

IPC: G01R1/06 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: A63H29/22 ,  A63H30/04 ,  A63H31/00 ,  F16H48/08 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/0735 ,  G01R3/00 ,  H01L51/5012 ,  H05B33/14 ,  Y10T29/49155

Abstract: 本发明提供一种片状探测器，具有：绝缘层，接点膜，具有在上述绝缘层上沿其面方向分开设置的、沿上述绝缘层厚度方向贯穿而延伸的多个电极结构体；其特征在于，各电极结构体具有：表面电极部，从绝缘层的表面露出，并从绝缘层的表面突出来，从其底端到顶端，直径变小，背面电极部，从绝缘层的背面露出来，短路部，沿上述绝缘层的厚度方向，从表面电极部的底端连续贯穿上述绝缘层而延伸，并与背面电极部连接；其中表面电极部的底端直径比短路部的与表面电极部相连的那一端的直径大；短路部的厚度比上述绝缘层的厚度大。

公开(公告)号：CN1957259A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200580016592.5

申请日：2005-04-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤克己 ,  井上和夫 ,  藤山等 ,  吉冈睦彦 ,  五十岚久夫

IPC: G01R1/06 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: A63H29/22 ,  A63H30/04 ,  A63H31/00 ,  F16H48/08 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/0735 ,  G01R3/00 ,  H01L51/5012 ,  H05B33/14 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供下述的片状探针及其制造方法：即使对具有微小且微细间距的电极的电路装置也能达到稳定的连接状态，电极结构体不从绝缘膜脱落，可得到高的耐久性，对大面积的晶片或被检查电极的间距小的电路装置在老化试验中能可靠地防止因温度变化引起的电极结构体与被检查电极的位置偏移，稳定地维持良好的连接状态。本发明的片状探针具备具有多个在厚度方向上延伸的电极结构体的绝缘层和支撑该绝缘层的金属框板，电极结构体由下述部分构成：在绝缘层的表面突出的表面电极部；在绝缘层的背面上露出的背面电极部；从表面电极部的基端起连续地在绝缘层的厚度方向上延伸并与背面电极部连结的短路部；以及从表面电极部的基端部分起连续地沿绝缘层的表面延伸到外侧的保持部，本发明的制造方法的特征在于：对表面电极部和短路部个别地充填金属。