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公开(公告)号:CN104995328A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201480008826.0
申请日:2014-01-08
申请人: HZO股份有限公司
CPC分类号: B05C21/005 , B05C13/00 , B05D5/08 , C23C14/042 , C23C14/50 , C23C16/042 , C23C16/458 , H01L21/6715 , H01L21/67333 , H01L21/67724 , H01L21/682 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 用于将保护涂层施加到电子装置组件或其它衬底的设备可以包括托盘,所述托盘能够保持多个衬底。托盘可以在衬底上方选择性地关闭。下托盘元件和/或上托盘元件可以在上面包括预成型的掩膜,所述掩膜与不应该将保护涂层材料粘附到衬底的位置相对应。掩膜可以包括结构部分和密封部分。结构部分可以保持衬底升高以维持开口或通道,保护涂层材料通过所述开口或通道可以施加到衬底的未掩蔽的部分。掩膜的密封部分可以接合衬底以限制保护涂层材料流到已掩蔽的部分。每个托盘都可以容纳多个衬底。载体可以支撑多个托盘。载体可以运载几十个并且可能几百个衬底以用于同时施加保护涂层。
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公开(公告)号:CN104334287A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201380026777.9
申请日:2013-03-25
申请人: HZO股份有限公司
IPC分类号: B05C1/06
CPC分类号: C23C16/02 , B05D1/60 , H01L21/6715 , H01L21/6776
摘要: 一种涂覆设备,所述涂覆设备可被构造成同时接收大量的电子装置组件并对所述大量的电子装置组件进行防水处理。所述涂覆设备可包括轨道,用于将所述电子装置组件运送至施加站中。所述施加站可具有立方体形状,并且包括入口门以及相对的出口门。所述入口门和出口门可使得能够将多个衬底引入施加站中,以及将所述多个衬底从施加站中移除。另外,所述入口门和出口门可使得能够将施加站与外部环境隔离,并因此对抗湿材料施加至所述多个衬底时的条件提供控制。还公开了用于使电子装置和其它衬底抗湿的方法。
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