公开(公告)号：CN104733271A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410785676.6

申请日：2014-12-18

Applicant: FEI公司

Inventor： B.J.詹斯森 ,  I.拉兹 ,  G.范杜恩恩 ,  U.鲁伊肯 ,  R.D.萨瓦格 ,  S.H.L.范登布姆

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。

公开(公告)号：CN104224216B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201410247938.3

申请日：2014-06-06

Applicant: FEI 公司

Inventor： U.鲁伊肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  J.A.M.安托纽斯

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/046 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50‑100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。

公开(公告)号：CN104224216A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410247938.3

申请日：2014-06-06

Applicant: FEI公司

Inventor： U.鲁伊肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  J.A.M.安托纽斯

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/046 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50-100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。

公开(公告)号：CN103854941A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310624541.7

申请日：2013-11-29

Applicant: FEI公司

Inventor： R.肖恩马克斯 ,  U.鲁伊肯 ,  E.M.弗兰肯

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/046 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/419 ,  H01J37/21 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法，其包括以下步骤：提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束；将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上；在成像步骤中，引导射束穿过样本，以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像；在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序，以便获得对应的一组图像；在重建步骤中，数学地处理来自所述组的图像，以便构造样本的合成图像，由此：在所述成像步骤中，对于给定的样本倾斜，一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获；在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分，所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。这给出了给定样本倾斜下的3D成像立方体而非2D成像片。