公开(公告)号：CN104733271A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410785676.6

申请日：2014-12-18

Applicant: FEI公司

Inventor： B.J.詹斯森 ,  I.拉兹 ,  G.范杜恩恩 ,  U.鲁伊肯 ,  R.D.萨瓦格 ,  S.H.L.范登布姆

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。