公开(公告)号：CN113302727B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN201980089391.X

申请日：2019-01-18

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·青纳 ,  J·马林格 ,  T·普拉赫 ,  B·波瓦扎伊 ,  H·罗林格 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/00 ,  H01L23/00 ,  G01B11/30 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明涉及一种用于确定第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的结合波的方向的测量装置。此外，本发明涉及一种对应方法。

公开(公告)号：CN118355481A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202180104660.2

申请日：2021-12-17

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T·瓦根莱特纳 ,  H·罗林格

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明涉及用于基板的对准的方法和设备。

公开(公告)号：CN114144868A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201980098936.3

申请日：2019-08-23

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T·瓦根莱特纳 ,  H·罗林格

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明描述了用于使基板对准的一种装置和一种方法。

公开(公告)号：CN118451540A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202180103351.3

申请日：2021-12-17

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： H·罗林格 ,  M·芬格 ,  D·辛纳

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种用于借助彼此上下布置的调整标志调整检测构件的方法和设备。

公开(公告)号：CN117882180A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202180102045.8

申请日：2021-11-02

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T·乌赫曼 ,  M·温普林格 ,  F·P·林德纳 ,  J·布格拉夫 ,  T·瓦根莱特纳 ,  D·辛纳 ,  M·芬格 ,  H·罗林格

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明涉及一种用于补偿(7)基板(1)的基板表面(1a、1p)上的变形(4)的方法及装置，一种用于接合两个基板的方法以及一种产品。

公开(公告)号：CN113302727A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN201980089391.X

申请日：2019-01-18

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·青纳 ,  J·马林格 ,  T·普拉赫 ,  B·波瓦扎伊 ,  H·罗林格 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/00 ,  H01L23/00 ,  G01B11/30 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明涉及一种用于确定第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的结合波的方向的测量装置。此外，本发明涉及一种对应方法。