公开(公告)号：CN113302727B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN201980089391.X

申请日：2019-01-18

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·青纳 ,  J·马林格 ,  T·普拉赫 ,  B·波瓦扎伊 ,  H·罗林格 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/00 ,  H01L23/00 ,  G01B11/30 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明涉及一种用于确定第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的结合波的方向的测量装置。此外，本发明涉及一种对应方法。

公开(公告)号：CN118098996A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410063997.9

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。

公开(公告)号：CN113302727A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN201980089391.X

申请日：2019-01-18

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·青纳 ,  J·马林格 ,  T·普拉赫 ,  B·波瓦扎伊 ,  H·罗林格 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/00 ,  H01L23/00 ,  G01B11/30 ,  H01L21/18

Abstract: 本发明涉及一种用于确定第一基板(2)与第二基板(4)之间的间隙(3)中的结合波的方向的测量装置。此外，本发明涉及一种对应方法。

公开(公告)号：CN118099069A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410270907.3

申请日：2016-03-22

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T·瓦根莱特纳 ,  T·普拉赫 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/20 ,  H01L21/762 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种用于使第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在衬底(4o,4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法，所述方法带有如下步骤、尤其如下流程：将第一衬底(4o)容纳在第一容纳设备(1,1',1”,1”',1IV,1V,1VI)的第一容纳面(1s,1s',1s”,1s”')处，并且将第二衬底(4u)容纳在第二容纳设备(1,1',1”,1”',1IV,1V,1VI)的第二容纳面(1s,1s',1s”,1s”')处，在接触面(4k)的接触之前使接触面(4k)弯曲，其特征在于，第一衬底(4o)的接触面(4k)的弯曲变化和/或第二衬底(4u)的接触面(4k)的弯曲变化在接合期间受控制。此外，本发明涉及一种对应的装置。

公开(公告)号：CN118099068A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410270903.5

申请日：2016-03-22

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T·瓦根莱特纳 ,  T·普拉赫 ,  J·M·聚斯

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/20 ,  H01L21/762 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种用于使第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在衬底(4o,4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法，所述方法带有如下步骤、尤其如下流程：将第一衬底(4o)容纳在第一容纳设备(1,1',1”,1”',1IV,1V,1VI)的第一容纳面(1s,1s',1s”,1s”')处，并且将第二衬底(4u)容纳在第二容纳设备(1,1',1”,1”',1IV,1V,1VI)的第二容纳面(1s,1s',1s”,1s”')处，在接触面(4k)的接触之前使接触面(4k)弯曲，其特征在于，第一衬底(4o)的接触面(4k)的弯曲变化和/或第二衬底(4u)的接触面(4k)的弯曲变化在接合期间受控制。此外，本发明涉及一种对应的装置。

公开(公告)号：CN118099001A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410064013.9

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。

公开(公告)号：CN118098999A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410064007.3

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。

公开(公告)号：CN118098997A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410063999.8

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。

公开(公告)号：CN118099000A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410064010.5

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。

公开(公告)号：CN118098998A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410064002.0

申请日：2017-09-21

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·齐纳 ,  T·瓦根莱特纳 ,  J·M·聚斯 ,  T·普拉赫 ,  J·马林格

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在第二基板(4u)与第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，其中，第二基板(4u)与板(4u)在接合之前且/或在接合期间相对第二接纳设备(1u)被变形。此外，本发明涉及一种对应的装置及一种对应的板。