使用掩模提供图案化基底的方法

    公开(公告)号:CN102687241A

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201080060295.1

    申请日:2010-12-20

    Abstract: 本发明描述了一种制备具有图案化掩模层的基底的方法,所述图案化掩模层具有诸如重复条纹的精细特征。所述方法包括以下步骤:形成基底,所述基底的第一主表面上具有带预定图案的转移层;提供在所述第一主表面上具有所述转移层的所述基底;提供具有主体和多个接触部分的结构化工具,所述接触部分的杨氏模量介于约0.5Gpa至约30Gpa之间;加热所述结构化工具或所述基底;使所述转移层与所述结构化工具接触;冷却所述转移层;并且将所述结构化工具从所述转移层退出,使得所述转移层的一些部分随着所述结构化工具分离,在所述转移层中留下穿过所述转移层一直延伸至所述基底的开口,从而形成具有所述预定图案的所述转移层。

    具有插件的模头以及用于模头的气体吹扫方法

    公开(公告)号:CN101489688B

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN200780027375.5

    申请日:2007-06-25

    Abstract: 本公开涉及一种模头组件。该模头组件包括:模头壳体,其具有限定模头腔体的多个内壁区段;入口通道,其穿过该模头壳体,与模头腔体流体连通;出口通道,其在远离所述入口通道的位置处穿过该模头壳体,与模头腔体流体连通。该模头组件还包括以可拆卸的方式接纳于模头腔体中的插件。该插件包括具有多个外壁区段的主体部分,并且模头壳体的至少一个内壁区段与插件主体部分的每个相对的外壁区段之间形成至少一个流动通道。模头组件包括用于在流体材料的外部供应源与至少一个流动通道和出口通道中的每个之间提供流体连通的装置。用于提供流体连通的装置可包括:第一导管,其穿过插件主体部分的至少一部分在入口通道与出口通道之间流体连通;第二导管,其穿过模头壳体,与每个流体通道和出口通道流体连通。第一导管和第二导管可各自适于选择性地连接至流体材料的外部供应源。还提供了用于在模头内使用的模头插件,以及从具有插件的模头吹扫气体的方法。

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