公开(公告)号：CN102280521B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201110159590.9

申请日：2011-06-14

Applicant: 阿斯莫国际公司

Inventor： 克里斯·G·M·德里德 ,  克拉斯·P·布恩斯特拉 ,  阿德里安·加森 ,  弗兰克·胡森

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67303 ,  C23C16/45546 ,  C23C16/4587 ,  F27B17/0025 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/67757 ,  H01L31/1864 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供了一种处理太阳能电池的方法，包括：提供一竖炉，用于收纳相互隔开的集成电路处理用的圆形半导体晶片的阵列；为太阳能电池基片构建一处理室装载结构，其中太阳能电池基片沿着待处理的第一表面延伸的尺寸小于圆形半导体晶片的相应尺寸，使得处理室中能容纳相互间隔开的太阳能电池基片的多个阵列；将太阳能电池基片装载入该处理室中；在处理室中处理太阳能电池基片。

公开(公告)号：CN102280521A

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN201110159590.9

申请日：2011-06-14

Applicant: 阿斯莫国际公司

Inventor： 克里斯·G·M·德里德 ,  克拉斯·P·布恩斯特拉 ,  阿德里安·加森 ,  弗兰克·胡森

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67303 ,  C23C16/45546 ,  C23C16/4587 ,  F27B17/0025 ,  F27D5/0037 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/67757 ,  H01L31/1864 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供了一种处理太阳能电池的方法，包括：提供一竖炉，用于收纳相互隔开的集成电路处理用的圆形半导体晶片的阵列；为太阳能电池基片构建一处理室装载结构，其中太阳能电池基片沿着待处理的第一表面延伸的尺寸小于圆形半导体晶片的相应尺寸，使得处理室中能容纳相互间隔开的太阳能电池基片的多个阵列；将太阳能电池基片装载入该处理室中；在处理室中处理太阳能电池基片。