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公开(公告)号：CN117155333B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310788166.3
申请日：2023-06-29
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种声表面波谐振器、滤波器、多工器和射频前端模组。该声表面波谐振器包括压电衬底、以及设于压电衬底上的至少一个叉指换能器，叉指换能器包括平行且间隔排列的两个汇流条、以及平行且间隔排列的多个电极指，多个电极指位于两个汇流条之间，电极指分别与一个汇流条连接，且连接于不同汇流条的电极指沿汇流条的长度方向交替排列；电极指露出于压电衬底的外表面设有钝化层以覆盖并保护电极指，至少一对相邻两个电极指之间的压电衬底的表面的一部分未覆盖钝化层。本申请声表面波谐振器通过在相邻电极指之间的压电衬底表面未覆盖钝化层，以保证相邻电极指之间露出的表面的平整度。
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公开(公告)号：CN118282346A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202211733140.0
申请日：2022-12-30
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请提供一种谐振器、谐振器包括第一边侧区域、中间区域、第二边侧区域、第一活塞结构以及第二活塞结构。第一活塞结构位于第一边侧区域内，第二活塞结构位于第二边侧区域内，中间区域对应的声速均大于第一边侧区域对应的声速以及第二边侧区域对应的声速，其中，第一活塞结构包括宽度不同的至少两个质量层，第一边侧区域内具有不同的至少两个声速，第二活塞结构包括宽度不同的至少两个质量层，第二边侧区域内具有不同的至少两个声速，以将声波能量约束在叉指换能器所在的区域内部，从而抑制横向模态，并提高了品质因数值。本申请还提供一种滤波器以及一种电子设备。
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公开(公告)号：CN117526888B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202311287289.5
申请日：2023-10-07
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明适用于射频滤波领域，公开了一种弹性波装置及射频前端模组，其中，弹性波装置包括压电基底以及设置在压电基底上的至少一个叉指换能器；其中，至少一个叉指换能器包括两个汇流条，两个汇流条沿第一方向相对设置，两个汇流条分别连接有若干个电极指；在第一方向上，两个汇流条之间具有交叉区和两个分别位于交叉区两端的间隙区；交叉区为各电极指沿第二方向相互交叠的区域，第二方向与第一方向正交；在第一方向上，两个汇流条中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域，各开口区域包括至少一个开口；开口区域的声速大于间隙区的声速。本申请实施例的弹性波装置能够有效抑制声波传播过程中产生的横向模态。
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公开(公告)号：CN118214390A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410350980.1
申请日：2024-03-26
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种滤波器、多工器以及射频前端模组，滤波器包括：信号输入端和信号输出端、多个第一谐振器组、多个第二谐振器组以及至少一个LC谐振电路；多个第一谐振器组串联在信号输入端和信号输出端之间，各第一谐振器组包括至少一个第一谐振器；第二谐振器组的第一端连接于第一谐振器组，第二谐振器组的第二端连接于接地端，各第二谐振器组包括至少一个第二谐振器；LC谐振电路的第一端连接于相邻两个第一谐振器组之间，且LC谐振电路的第一端与任一第二谐振器组的第一端之间连接至少一个第一谐振器组。通过在滤波器的串联支路中并联LC谐振电路，可以改善滤波器的通带插损，而且可以提高滤波器的带外抑制水平。
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公开(公告)号：CN117134739B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210552361.1
申请日：2022-05-20
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法，该滤波器包括电容器、金属层及至少一个体声波谐振器；体声波谐振器和电容器均包括衬底、声学镜、下电极、压电层及上电极，电容器的上电极和下电极之间形成电容区；金属层包括同层设置的第一金属区和第二金属区，第一金属区与电容区重叠以降低其频率，第二金属区位于体声波谐振器的谐振区的边缘以免其能量横向泄漏；电容器和体声波谐振器共用一个衬底和一个压电层，且二者的声学镜、下电极及上电极均同层设置，这样二者的声学镜、下电极、上电极及金属层的两个金属区分别可以在同一工序中制备，这样不会额外增加工艺，从而可以简化滤波器的生产工艺、降低工艺成本、提高生产效率。
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公开(公告)号：CN117013983B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202210465925.8
申请日：2022-04-29
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法，通过合理设置下电极、压电层和上电极和衬底、声反射结构，形成至少一个第一重叠区域，提高了器件的机械强度，保证了可靠性。并且通过沟槽和抑制结构的设置既抑制了第一重叠区域中的纵向能量泄露，也抑制体声波谐振器的横向能量泄露，而不需要专门对上电极进行过多特殊的工艺处理，更好地保证了体声波谐振器整体更好的性能，实现了可靠性和器件性能二者更好的兼顾。本发明还公开了体声波谐振器的制作方法，通过较少的工艺即可以保证上述多种效果的实现。
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公开(公告)号：CN117526893A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311543268.5
申请日：2023-11-17
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本申请实施例提供一种体声波谐振器及滤波器，体声波谐振器包括：衬底；第一电极，设置于所述衬底的表面上；压电层，设置于所述第一电极背离所述衬底的一侧；第二电极，设置于所述压电层上，所述第一电极、所述第二电极以及所述压电层之间存在相互重叠的重叠区；介质层结构，包括多层介质层，任意相邻两层所述介质层包括第一介质层和第二介质层，所述第一介质层的声阻抗大于所述压电层的声阻抗，所述第二介质层的声阻抗小于所述压电层的声阻抗；其中，所述介质层结构设置于所述第二电极所在平面与所述衬底的表面之间，且至少位于所述重叠区外。介质层结构能够反射向下泄漏的部分声波，从而减小声能的泄漏，提高声波谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN117134739A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202210552361.1
申请日：2022-05-20
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法，该滤波器包括电容器、金属层及至少一个体声波谐振器；体声波谐振器和电容器均包括衬底、声学镜、下电极、压电层及上电极，电容器的上电极和下电极之间形成电容区；金属层包括同层设置的第一金属区和第二金属区，第一金属区与电容区重叠以降低其频率，第二金属区位于体声波谐振器的谐振区的边缘以免其能量横向泄漏；电容器和体声波谐振器共用一个衬底和一个压电层，且二者的声学镜、下电极及上电极均同层设置，这样二者的声学镜、下电极、上电极及金属层的两个金属区分别可以在同一工序中制备，这样不会额外增加工艺，从而可以简化滤波器的生产工艺、降低工艺成本、提高生产效率。
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公开(公告)号：CN117013985A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210468162.2
申请日：2022-04-29
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法，该滤波器包括衬底、压电层、第一下电极、第二下电极、第一上电极、第二上电极、第一走线以及第一介质层；第一下电极和第二下电极均设于衬底的上表面；压电层覆盖第一下电极和第二下电极的上表面；第一上电极和第二上电极均设于压电层的上表面；第一走线位于压电层的上表面，第一走线在衬底上的正投影位于第一下电极与第二下电极之间，第一走线的一端连接第一上电极，另一端连接第二上电极；第一介质层的至少一部分位于第一走线与衬底之间。在本发明中通过在第一走线和衬底之间设置第一介质层，可以避免或者消弱第一走线与其他连接两个上电极的走线之间产生寄生电容。
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公开(公告)号：CN117013983A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210465925.8
申请日：2022-04-29
申请人： 锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法，通过合理设置下电极、压电层和上电极和衬底、声反射结构，形成至少一个第一重叠区域，提高了器件的机械强度，保证了可靠性。并且通过沟槽和抑制结构的设置既抑制了第一重叠区域中的纵向能量泄露，也抑制体声波谐振器的横向能量泄露，而不需要专门对上电极进行过多特殊的工艺处理，更好地保证了体声波谐振器整体更好的性能，实现了可靠性和器件性能二者更好的兼顾。本发明还公开了体声波谐振器的制作方法，通过较少的工艺即可以保证上述多种效果的实现。
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