一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用

    公开(公告)号:CN108732212A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810503081.5

    申请日:2018-05-23

    CPC classification number: G01N27/127

    Abstract: 一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用,属于传感器技术领域。技术要点:利用薄膜工艺在基底上制作芯片电极,利用微加工技术制造带有隔热槽的芯片基板,利用微滴涂工艺涂布敏感材料和载体材料,烧结处理,催化剂涂布,引线焊接封帽。实现了对气体的检测限的拓宽,同时,利用半导体式气体传感器检测下限较低,当半导体传感器检测到微量气体时,催化气体传感器可认为被测气体浓度接近零,实现对催化式气体传感器的“零点”校准,利用半导体式气体传感器上限具有饱和区特点来实现对催化式气体传感器特定浓度下的校准,从而提高了集成传感器芯片的智能化水平,提高了芯片使用可靠性。

    一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN108614015B

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201810503083.4

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法,属于传感器技术领域。技术要点:利用原位生长氧化铝制造出传感器基片,在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元,催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺形成金属铂薄膜加热敏感电阻,通过蒸发和湿法刻蚀工艺形成金属镍铬薄膜桥路电阻,然后封装。工作模式:催化敏感单元的惠斯通电桥,检测被测气体浓度,当其浓度超过催化单元检测上限时,关闭催化单元的惠斯通电桥,启动热导单元的惠斯通电桥,检测被测气体的高浓度;当气体浓度下降到热导单元检测下限时,关闭热导单元的惠斯通电桥,启动催化单元的惠斯通电桥,实现高低浓度的气体检测。

    一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用

    公开(公告)号:CN108732212B

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN201810503081.5

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用,属于传感器技术领域。技术要点:利用薄膜工艺在基底上制作芯片电极,利用微加工技术制造带有隔热槽的芯片基板,利用微滴涂工艺涂布敏感材料和载体材料,烧结处理,催化剂涂布,引线焊接封帽。实现了对气体的检测限的拓宽,同时,利用半导体式气体传感器检测下限较低,当半导体传感器检测到微量气体时,催化气体传感器可认为被测气体浓度接近零,实现对催化式气体传感器的“零点”校准,利用半导体式气体传感器上限具有饱和区特点来实现对催化式气体传感器特定浓度下的校准,从而提高了集成传感器芯片的智能化水平,提高了芯片使用可靠性。

    一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN108955929A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810503085.3

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法,属于传感器技术领域。技术要点:利用原位生长的多孔Al2O3陶瓷作为湿度单元敏感体,同时,湿度单元敏感体兼顾作为温度单元基底;温度敏感电阻采用厚膜丝网印刷工艺制备,温度敏感电阻兼顾作为湿度单元的热净化器;温度单元和湿度单元电极的引出线采用金浆烧工艺制得;多孔Al2O3陶瓷浸渍表面修饰剂;集成芯片采用储能点焊工艺焊接的4脚基座上,管帽采用防水透气膜封装。该传感器芯体具有纳米管阵列结构特征,在大气条件下,可实现对环境中的温度和湿度进行检测。实现传感器温度与湿度检测单元的集成化,提高各功能部件的复用,最大限度降低功能部件的数量。

    一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法

    公开(公告)号:CN108614015A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810503083.4

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法,属于传感器技术领域。技术要点:利用原位生长氧化铝制造出传感器基片,在其上形成催化敏感单元、催化补偿单元、热导补偿单元,催化补偿单元同时兼有热导敏感单元功能。通过薄膜溅射和干法刻蚀工艺形成金属铂薄膜加热敏感电阻,通过蒸发和湿法刻蚀工艺形成金属镍铬薄膜桥路电阻,然后封装。工作模式:催化敏感单元的惠斯通电桥,检测被测气体浓度,当其浓度超过催化单元检测上限时,关闭催化单元的惠斯通电桥,启动热导单元的惠斯通电桥,检测被测气体的高浓度;当气体浓度下降到热导单元检测下限时,关闭热导单元的惠斯通电桥,启动催化单元的惠斯通电桥,实现高低浓度的气体检测。

    一种管状轮辐式纳米管阵列载体气体传感器的制造方法、传感器及其应用

    公开(公告)号:CN108614009A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810503084.9

    申请日:2018-05-23

    Abstract: 一种管状轮辐式纳米管阵列载体气体传感器的制造方法、传感器及其应用,属于传感器技术领域。技术要点:传感器制造方法包括以下主要工序步骤:铂丝绕制线圈→酸碱表面处理→形状定型→裁剪引线→管状模具设计→模具加工→模具表面喷涂→模具加热→熔融金属铝→注入模具→真空抽吸→脱模钻孔→电化学原位生长→高温热处理→浸硝酸铝溶液→修饰铂钯催→浸渍硝酸铅溶液→高温热分解→引线焊接封装→气体传感器,该方法制得的管状轮辐式纳米管阵列载体气体传感器,及传感器在易燃易爆危险化学品安全检测中的应用。本发明制作了一种低功耗、高稳定、快响应的易燃易爆气体检测传感器。

    一种基于非点火式柴油机的直接接触式高温冷却系统

    公开(公告)号:CN119880439A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510197165.0

    申请日:2025-02-21

    Abstract: 本发明公开了一种基于非点火式柴油机的直接接触式高温冷却系统,包括缸体、测量子系统和冷却流路;所述缸体包括拆卸自待测量发动机的缸盖、缸壁和活塞;而且在缸盖底部设置有高温稳态热源;从缸体冷却腔向缸壁的侧壁方向开设多个孔作为缸壁处的测点,依次对应活塞处于下止点时缸壁与活塞交界处、第一道活塞环槽、第一活塞环岸、第二道活塞环槽的位置;位于缸壁与活塞交界处的孔内设置有第四温度传感器;其余孔内分别设置有第三温度传感器;所述活塞顶部内壁均匀分布多个孔作为活塞的测点;至少两个测点处的孔未贯通所述活塞顶面;活塞测点处的孔内分别设置有第五温度温度传感器;所述冷却流路用于使冷却液流经缸体冷却腔。

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