一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110218971B

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN201910588494.2

    申请日:2019-07-02

    Abstract: 本发明提供一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法,该多层薄膜从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层;该制备方法为先对钛合金基体进行清洗以及抽真空,溅射沉积氮化钛薄膜层,再溅射沉积碳化钛薄膜层,然后分别重复沉积氮化钛薄膜层与碳化钛薄膜层一次,再制备一层掺铝的类金刚石薄膜层,最后进行溅射后处理。与现有技术相比,本发明制备多层薄膜成品率高、方便、快捷、高效,其制备而成的薄膜与基体、薄膜与薄膜之间结合力大、内应力小,具有很好的耐摩擦磨损性能,可适用于航空航天、地质钻探等高强度作业领域。

    一种可见光区宽带增透膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113703078B

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202111013883.6

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 一种可见光区宽带增透膜,所述增透膜是沉积于光学玻璃基体上的双面沉积增透膜,由等厚的五层薄膜层构成,从光学玻璃基体表面依次向外为SiO2薄膜层、TiO2薄膜层、HfO2薄膜层、TiO2薄膜层和SiO2薄膜层。本发明方法制备出的多层薄膜克服了光学玻璃在增透能力上的不足,减少了光能量的反射损失,本发明制备的多层薄膜致密性优异、粗糙度低至1.18nm;同时提高了增透宽带,在0.4~0.8μm之间的平均透过率为99.83%,最小透过率为94.86%,通带半宽度为91.3nm;增强了多层薄膜中各膜层之间的结合力、薄膜牢固稳定,同时减小了薄膜的应力,残余应力低至0.51GPa;薄膜具有优异的机械强度和抗破坏品质。

    一种可见光区宽带增透膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113703078A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111013883.6

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 一种可见光区宽带增透膜,所述增透膜是沉积于光学玻璃基体上的双面沉积增透膜,由等厚的五层薄膜层构成,从光学玻璃基体表面依次向外为SiO2薄膜层、TiO2薄膜层、HfO2薄膜层、TiO2薄膜层和SiO2薄膜层。本发明方法制备出的多层薄膜克服了光学玻璃在增透能力上的不足,减少了光能量的反射损失,本发明制备的多层薄膜致密性优异、粗糙度低至1.18nm;同时提高了增透宽带,在0.4~0.8μm之间的平均透过率为99.83%,最小透过率为94.86%,通带半宽度为91.3nm;增强了多层薄膜中各膜层之间的结合力、薄膜牢固稳定,同时减小了薄膜的应力,残余应力低至0.51GPa;薄膜具有优异的机械强度和抗破坏品质。

    一种有效提高钛合金耐应力腐蚀性能的方法

    公开(公告)号:CN110886001B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201911239110.2

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 本发明提供了一种有效提高钛合金耐应力腐蚀性能的方法,适用于α‑Ti合金(含有铝、锡和(或)铅的钛合金,主要有TA4(Ti3Al)、TA5(Ti4Al0.005B)、TA6(Ti5Al)和TA7(Ti5Al2.5Sn)),它首先对α‑Ti合金试样进行阳极氧化处理,阳极氧化处理后不进行封孔处理,然后再通过磁控溅射将Pd、Mo与Ti溅射在试样上,形成含有Pd离子与Mo离子的Mo‑Pd‑Ti的复合层。该方法所制得的α‑Ti合金复合层,能在不影响钛合金其他优良性能的前提下,α‑Ti合金的耐应力腐蚀性能,减少其失效破坏,增加其使用寿命。

    一种有效提高钛合金耐应力腐蚀性能的方法

    公开(公告)号:CN110886001A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201911239110.2

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 本发明提供了一种有效提高钛合金耐应力腐蚀性能的方法,适用于α-Ti合金(含有铝、锡和(或)铅的钛合金,主要有TA4(Ti3Al)、TA5(Ti4Al0.005B)、TA6(Ti5Al)和TA7(Ti5Al2.5Sn)),它首先对α-Ti合金试样进行阳极氧化处理,阳极氧化处理后不进行封孔处理,然后再通过磁控溅射将Pd、Mo与Ti溅射在试样上,形成含有Pd离子与Mo离子的Mo-Pd-Ti的复合层。该方法所制得的α-Ti合金复合层,能在不影响钛合金其他优良性能的前提下,α-Ti合金的耐应力腐蚀性能,减少其失效破坏,增加其使用寿命。

    一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110218971A

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201910588494.2

    申请日:2019-07-02

    Abstract: 本发明提供一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法,该多层薄膜从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层;该制备方法为先对钛合金基体进行清洗以及抽真空,溅射沉积氮化钛薄膜层,再溅射沉积碳化钛薄膜层,然后分别重复沉积氮化钛薄膜层与碳化钛薄膜层一次,再制备一层掺铝的类金刚石薄膜层,最后进行溅射后处理。与现有技术相比,本发明制备多层薄膜成品率高、方便、快捷、高效,其制备而成的薄膜与基体、薄膜与薄膜之间结合力大、内应力小,具有很好的耐摩擦磨损性能,可适用于航空航天、地质钻探等高强度作业领域。

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