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公开(公告)号：CN101872775A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010159246.5
申请日：2010-04-26
申请人： 美商豪威科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146 , H04N5/335 , H04N3/15
CPC分类号： H01L27/1463 , H01L27/14601
摘要： 本发明公开了用于减少串扰的多层图像传感器像素结构。图像传感器像素包括衬底、第一外延层、收集器层、第二外延层和光收集区域。衬底被掺杂为具有第一导电类型。第一外延层被布置在衬底之上并且被掺杂为也具有第一导电类型。收集器层被选择性地布置在第一外延层的至少一部分上并且被掺杂为具有第二导电类型。第二外延层被布置在收集器层上并且被掺杂为具有第一导电类型。光收集区域收集光生电荷载流子并被布置在第二外延层内。光收集区域也被掺杂为具有第二导电类型。
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公开(公告)号：CN109686748B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN201811201788.7
申请日：2018-10-16
申请人： 豪威科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146
摘要： 本申请案涉及用于图像传感器的沟槽隔离。一种图像传感器包含多个光电二极管，所述多个光电二极管安置于半导体材料中以将图像光转换成图像电荷。浮动扩散部接近于所述多个光电二极管而安置以从所述多个光电二极管接收所述图像电荷。多个转移晶体管经耦合以响应于施加到所述多个转移晶体管的栅极端子的电压而将所述图像电荷从所述多个光电二极管转移到所述浮动扩散部中。第一沟槽隔离结构从所述半导体材料的前侧延伸到所述半导体材料中且环绕所述多个光电二极管。第二沟槽隔离结构从所述半导体材料的后侧延伸到所述半导体材料中。所述第二沟槽隔离结构安置于所述多个光电二极管中的个别光电二极管之间。
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公开(公告)号：CN110868519B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201910183912.X
申请日：2019-03-12
申请人： 豪威科技股份有限公司
摘要： 本申请案涉及具有相位检测自动对焦像素的图像传感器。一种图像传感器像素阵列包括中心区及两个平行边缘区，其中中心区位于两个平行边缘区之间。中心区包括沿着行及列的第一子阵列安置的多个图像像素，其中多个图像像素中的每一者包括形成在第一光接收元件上方的偏移位置处的第一微透镜ML，以作为用于缩短中心区中的图像像素的出射光瞳距离的对策，且两个平行边缘区中的每一者包括沿着行及列的第二子阵列安置的多个相位检测自动对焦PDAF像素，其中多个PDAF像素中的每一者包括形成在第二光接收元件上方的对准位置处的第二微透镜ML；且PDAF像素中的至少一者位于远离边缘区的中心的距离处以沿着射入倾角接收入射光。
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公开(公告)号：CN110868519A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910183912.X
申请日：2019-03-12
申请人： 豪威科技股份有限公司
摘要： 本申请案涉及具有相位检测自动对焦像素的图像传感器。一种图像传感器像素阵列包括中心区及两个平行边缘区，其中中心区位于两个平行边缘区之间。中心区包括沿着行及列的第一子阵列安置的多个图像像素，其中多个图像像素中的每一者包括形成在第一光接收元件上方的偏移位置处的第一微透镜ML，以作为用于缩短中心区中的图像像素的出射光瞳距离的对策，且两个平行边缘区中的每一者包括沿着行及列的第二子阵列安置的多个相位检测自动对焦PDAF像素，其中多个PDAF像素中的每一者包括形成在第二光接收元件上方的对准位置处的第二微透镜ML；且PDAF像素中的至少一者位于远离边缘区的中心的距离处以沿着射入倾角接收入射光。
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公开(公告)号：CN109686748A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811201788.7
申请日：2018-10-16
申请人： 豪威科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146
摘要： 本申请案涉及用于图像传感器的沟槽隔离。一种图像传感器包含多个光电二极管，所述多个光电二极管安置于半导体材料中以将图像光转换成图像电荷。浮动扩散部接近于所述多个光电二极管而安置以从所述多个光电二极管接收所述图像电荷。多个转移晶体管经耦合以响应于施加到所述多个转移晶体管的栅极端子的电压而将所述图像电荷从所述多个光电二极管转移到所述浮动扩散部中。第一沟槽隔离结构从所述半导体材料的前侧延伸到所述半导体材料中且环绕所述多个光电二极管。第二沟槽隔离结构从所述半导体材料的后侧延伸到所述半导体材料中。所述第二沟槽隔离结构安置于所述多个光电二极管中的个别光电二极管之间。
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公开(公告)号：CN101872775B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010159246.5
申请日：2010-04-26
申请人： 美商豪威科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： H01L27/1463 , H01L27/14601
摘要： 本发明公开了用于减少串扰的多层图像传感器像素结构。图像传感器像素包括衬底、第一外延层、收集器层、第二外延层和光收集区域。衬底被掺杂为具有第一导电类型。第一外延层被布置在衬底之上并且被掺杂为也具有第一导电类型。收集器层被选择性地布置在第一外延层的至少一部分上并且被掺杂为具有第二导电类型。第二外延层被布置在收集器层上并且被掺杂为具有第一导电类型。光收集区域收集光生电荷载流子并被布置在第二外延层内。光收集区域也被掺杂为具有第二导电类型。
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公开(公告)号：CN102194834A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010265986.7
申请日：2010-08-25
申请人： 美商豪威科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/144 , H01L27/146
CPC分类号： H01L27/14636 , H01L27/14683
摘要： 本发明提供了具有光检测器阵列及周边区域的较细和较粗互连线的装置。一方面的装置包括：光检测器阵列，以及位于光检测器阵列的周边处的周边区域。对应于光检测器阵列的较细互连线安置于一个或多个绝缘层内。对应于周边区域的较粗互连线安置于所述一个或多个绝缘层内。其它装置、方法及系统也被公开。
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