一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法

    公开(公告)号:CN110484886A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910869345.3

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法,包括按质量百分比计的如下组分:Re 2~5%,Zr 0.02~0.1%,B 0.05~0.1%,Mg 0.01~0.05%以及余量Ni和不可避免的杂质。其制备方法包括真空熔炼、雾化铸锭、烧结、热等静压、热锻、热轧、斜轧穿孔、退火、机加工等工艺。本发明为旋转管状靶材,不仅提高了材料的利用率,且利用热加工与热处理使得靶材组织细化均匀,质量更高;本发明为整体靶材,气体含量低,纯度高,即使用完也可作为返料回炉,节约成本。

    一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN113463053A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110763518.0

    申请日:2021-07-06

    Inventor: 吴宇宁 卿海标

    Abstract: 本发明公开了一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法,旋转靶材原子组成是Mo100‑x‑y‑zNixTiyAlz,且X、Y、Z表示原子组成百分比,10≤X≤40,1≤Y≤20,1≤Z≤18;制备先将钼粉、电解镍粉和钛铝预合金粉末按比例混合,然后进行脱氧提纯处理、进行球磨混合、灌粉振实处理、冷等静压成型、脱模、真空卧式烧结、旋锻处理、退火处理得到钼镍钛铝合金管锭,最后通过机加工切片制成钼镍钛铝合金靶材。本发明制备过程能够减少杂质元素的引入,所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小,密度可达到理论值99%以上,能够完全满足目前大尺寸溅射靶材的镀膜要求。

    一种含微量元素的大管径Ni-Cr旋转靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN110484885A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910869342.X

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni-Cr旋转靶材及其制备方法,包括按质量百分比计的如下原料组分:C 0.01~0.05%,B 0.02~0.08%,Zr 0.01~0.06%,Mg 0.05~0.1%,Cr 7~44%以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni-Cr的基础上,添加微量的元素C、B、Zr、Mg进行成分优化,使合金在凝固后期能够有效补缩,减少缺陷的形成面积,降低氧、硫、氢、氮等含量,且能抑制裂纹的萌生,提高靶材的晶界结合力,细化晶粒,从而提高成材率;通过制作整体旋转靶或绑定旋转靶,其利用率可达到70%-80%,既能满足更多的市场需求和特殊需求,又能提高材料的利用率,降低成本。

    一种低温超导Nb-Ti合金毛细管及其制备方法

    公开(公告)号:CN113061792B

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN201911344220.5

    申请日:2019-12-24

    Inventor: 吴宇宁 卿海标

    Abstract: 本发明公开了一种低温超导Nb‑Ti合金毛细管及其制备方法,该合金细管包括Mg、B、La、Ti及余量Nb;制备时先将铌片和钛片熔融后,加入镁条和硼粒熔炼,制得铸锭,继续熔融,加入La进行精炼制得电极棒,并采用真空自耗电极电弧炉对该电极棒进行熔炼,制得的铸锭,随后将铸锭加热后锻造,制得锻棒,并对其进行剥皮,制得合金棒,进行穿孔,制得管坯,最后将上述的管坯退火处理,经多次减径成型制得毛细管。本发明的低温超导Nb‑Ti合金毛细管纯度高,无气孔,其组织结构致密,晶粒细小均匀,平均晶粒小于60μm;同时,其制备方法简单,可操作性强。

    一种低温超导Nb-Ti合金毛细管及其制备方法

    公开(公告)号:CN113061792A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN201911344220.5

    申请日:2019-12-24

    Inventor: 吴宇宁 卿海标

    Abstract: 本发明公开了一种低温超导Nb‑Ti合金毛细管及其制备方法,该合金细管包括Mg、B、La、Ti及余量Nb;制备时先将铌片和钛片熔融后,加入镁条和硼粒熔炼,制得铸锭,继续熔融,加入La进行精炼制得电极棒,并采用真空自耗电极电弧炉对该电极棒进行熔炼,制得的铸锭,随后将铸锭加热后锻造,制得锻棒,并对其进行剥皮,制得合金棒,进行穿孔,制得管坯,最后将上述的管坯退火处理,经多次减径成型制得毛细管。本发明的低温超导Nb‑Ti合金毛细管纯度高,无气孔,其组织结构致密,晶粒细小均匀,平均晶粒小于60μm;同时,其制备方法简单,可操作性强。

    一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法

    公开(公告)号:CN110484886B

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN201910869345.3

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法,包括按质量百分比计的如下组分:Re 2~5%,Zr 0.02~0.1%,B 0.05~0.1%,Mg 0.01~0.05%以及余量Ni和不可避免的杂质。其制备方法包括真空熔炼、雾化铸锭、烧结、热等静压、热锻、热轧、斜轧穿孔、退火、机加工等工艺。本发明为旋转管状靶材,不仅提高了材料的利用率,且利用热加工与热处理使得靶材组织细化均匀,质量更高;本发明为整体靶材,气体含量低,纯度高,即使用完也可作为返料回炉,节约成本。

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