公开(公告)号：CN110484885A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910869342.X

申请日：2019-09-12

Applicant: 南京达迈科技实业有限公司

Inventor： 吴宇宁 ,  卿海标 ,  周其刚

IPC: C23C14/35 ,  C22C19/05 ,  C22C1/02 ,  C22F1/10 ,  B21C37/06

Abstract: 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni-Cr旋转靶材及其制备方法，包括按质量百分比计的如下原料组分：C 0.01～0.05％，B 0.02～0.08％，Zr 0.01～0.06％，Mg 0.05～0.1％，Cr 7～44％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni-Cr的基础上，添加微量的元素C、B、Zr、Mg进行成分优化，使合金在凝固后期能够有效补缩，减少缺陷的形成面积，降低氧、硫、氢、氮等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力，细化晶粒，从而提高成材率；通过制作整体旋转靶或绑定旋转靶，其利用率可达到70％-80％，既能满足更多的市场需求和特殊需求，又能提高材料的利用率，降低成本。

公开(公告)号：CN110064864B

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201910457047.3

申请日：2019-05-29

Applicant: 南京达迈科技实业有限公司 ,  南京欧美达应用材料科技有限公司

Inventor： 吴宇宁 ,  马一飞 ,  徐玉松 ,  田开文 ,  郭飞 ,  周其刚 ,  戴慧敏

IPC: B23K35/26 ,  B23K31/02 ,  B23K35/362

Abstract: 本发明公开了一种用于多晶硅与金属连接的钎料、采用该钎料制备的焊膏与制法及用其焊接的方法，钎料包括In、Sn、Sb、Bi及Zn；焊膏包括质量比为4:1的钎料及助剂；焊膏制备时先按钎料组分配比原料，熔化成合金并制备成钎料粉末，将该钎料粉末与助剂混合配制即可；采用该焊膏进行焊接时在多晶硅和金属的结合面上各涂覆一层焊膏层，并在结合面上设置缝隙0.2～1.0mm，加热至150～200℃，熔敷、焊合即可。本发明的钎料及采用该钎料制备的焊膏能够将多晶硅靶与金属背板的结合率达到95％以上，达到了良好的异种材料绑定效果，且其成本低，提高了企业的利润；同时，焊膏的制备方法简单，采用该焊膏进行焊接的方法可操作性强。

公开(公告)号：CN110064864A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201910457047.3

申请日：2019-05-29

Applicant: 南京达迈科技实业有限公司 ,  南京欧美达应用材料科技有限公司

Inventor： 吴宇宁 ,  马一飞 ,  徐玉松 ,  田开文 ,  郭飞 ,  周其刚 ,  戴慧敏

IPC: B23K35/26 ,  B23K31/02 ,  B23K35/362

Abstract: 本发明公开了一种用于多晶硅与金属连接的钎料、采用该钎料制备的焊膏与制法及用其焊接的方法，钎料包括In、Sn、Sb、Bi及Zn；焊膏包括质量比为4:1的钎料及助剂；焊膏制备时先按钎料组分配比原料，熔化成合金并制备成钎料粉末，将该钎料粉末与助剂混合配制即可；采用该焊膏进行焊接时在多晶硅和金属的结合面上各涂覆一层焊膏层，并在结合面上设置缝隙0.2～1.0mm，加热至150～200℃，熔敷、焊合即可。本发明的钎料及采用该钎料制备的焊膏能够将多晶硅靶与金属背板的结合率达到95％以上，达到了良好的异种材料绑定效果，且其成本低，提高了企业的利润；同时，焊膏的制备方法简单，采用该焊膏进行焊接的方法可操作性强。

公开(公告)号：CN110468382B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201910869200.3

申请日：2019-09-12

Applicant: 南京达迈科技实业有限公司

Inventor： 吴宇宁 ,  卿海标 ,  周其刚

IPC: C23C14/35 ,  C22C1/02 ,  C22C19/03 ,  C22F1/10

Abstract: 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni‑V旋转靶材及其制备方法，旋转靶材包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni‑V的基础上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg进行成分优化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力、强度，并细化晶粒，从而提高成材率；通过优选热加工工艺参数，降低了废品率。

公开(公告)号：CN110468382A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201910869200.3

申请日：2019-09-12

Applicant: 南京达迈科技实业有限公司

Inventor： 吴宇宁 ,  卿海标 ,  周其刚

IPC: C23C14/35 ,  C22C1/02 ,  C22C19/03 ,  C22F1/10

Abstract: 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材及其制备方法，旋转靶材包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni-V的基础上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg进行成分优化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力、强度，并细化晶粒，从而提高成材率；通过优选热加工工艺参数，降低了废品率。