公开(公告)号：CN116110997A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202310067629.7

申请日：2023-01-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 潘毅 ,  林煜楠 ,  胡永琪 ,  毛家彤 ,  张又麒 ,  张一诺 ,  王栋立

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种宽波段快响应自驱动型光电探测器及其制备方法，包括衬底、二维过渡金属碲化物和两个金属电极；二维过渡金属碲化物位于衬底上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物的顶面轴心线两侧，且电极的功函数非对称设置。制备方法为S1：提高衬底表面亲水性；S2：在衬底表面通过化学气相沉积法得到二维过渡金属碲化物；S3：在二维过渡金属碲化物表面蒸镀两个非对称设置的金属电极。提高二维过渡金属碲化物的制备效率，能够在衬底较大范围内获得连续均匀的二维过渡金属碲化物。