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公开(公告)号：CN107522163B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201710480011.8
申请日：2017-06-22
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种PDMS结构的高保型转移方法，可以用于PDMS柔性多层微纳结构的制备。该方法首先制备待转移PDMS结构的硅模板2；制作PDMS转移层5；沿硅模板中央缓缓试滴准量的PDMS溶液，待其从表面中央往四周散开，缓缓流进各个结构空腔内，要求PDMS溶液不溢出硅片模板表面以外区域；使用PDMS转移层5，置于硅模板2有PDMS结构的一面，均匀施加压力，放入恒温箱中固化后取出，然后将硅模板2剥离，这样硅模板2上各结构空腔内的PDMS结构就保型转移至PDMS转移层5上。本发明工艺过程相对简单，为制备多层微纳结构工艺提供了重要保障，也为转移工艺在其他微纳结构制备工艺的应用提供了新的解决方案。
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公开(公告)号：CN106542494B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201610850447.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性结构中的中的多层微纳结构制作方法。该方法将待制备的不等高微纳结构按照结构高度分类；采用PDMS对硅模版复型的方式制备最低高度部分的微纳结构；采用高保型转移方法，依次由低到高地将其余高度部分的微纳结构作为待转移PDMS结构，进行转移制备，直至最大高度的微纳结构部分制备完毕。本发明通过逐层转移单层结构到基层结构上的方法完成多层不等高微纳结构的制备。工艺过程简单，易于实现微纳结构集成，将广泛应用于仿生多层微纳结构的制作以及超疏水结构的制作中。
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公开(公告)号：CN110562909A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910700617.7
申请日：2019-07-31
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种真空压力成型制备大面积、高深宽比的柔性微纳功能结构的方法及装置，属于微纳加工领域。该装置，主要包括由上壳体1和下壳体3构成的具有气密性的密闭腔室；所述腔室被待压印的薄膜8分成上下两个部分，薄膜上侧与上壳体1以及孔板2所围成的部分为上腔室12，薄膜下侧与下壳体3所围成的部分为下腔室11；所述下腔室11底部为模具层5，所述模具5上表面提供待压印图形的母版；所述上腔室12内有一与薄膜层8平行的孔板层2；所述上腔室12和下腔室11均与气流控制装置10连通，所述气流控制装置10可控的实现上、下腔室的真空度和压力差要求。所述下壳体底部有加热装置4。本发明简化了真空设备，缩小了真空环境所需要的体积。采用气压的方式，使薄膜受力均匀，提高了产品的质量。工艺过程中可以选用脱模效果更好的表面活性剂。解决了制备高深宽比结构的难题。
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公开(公告)号：CN107321399A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710573147.3
申请日：2017-07-14
Applicant: 西北工业大学
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/5027 , B01L2200/06
Abstract: 本发明涉及微流控进样领域的一种面向离心式微流控芯片的多组分自动进样系统，它包括丝杠传动机构1、压头2、特制注射器系统3、注射盘4、针尖5、电机芯片连接套6、微流控芯片7和伺服电机8。本发明通过丝杠传动机构能对特制注射器实现自动精确注入功能，特制注射器系统能实现注射后的自动弹回功能，同时在注射盘与芯片的相对位置和大小设计上保证了注射区域覆盖了芯片的所有区域，最后通过同时控制芯片和注射盘的转动以及丝杠传动机构，实现了离心式微流控芯片上任意位置的多组分高精度自动进样功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106115613A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610584610.X
申请日：2016-07-22
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B81C1/00349 , B81C1/00642 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种大面积单层致密纳米晶体微球自组装方法、装置及装置的使用方法，属于薄膜制备领域。该纳米微球薄膜组装方法结合旋涂和气‑液界面组装技术优点，分两步主动调节单层致密纳米微球薄膜的成形过程，即：通过旋涂，确保在基底上形成单层纳米层，再将基底上的单层纳米层剥离在液面，通过添加表面活性剂推挤，使不连续的单层纳米组装成致密纳米薄膜，完成大面积单层致密纳米微球薄膜的组装过程。该方法还可以通过最后降低液面，将该单层膜转移到第二基底上。该方法很大程度提高了单层纳米微球薄膜的成膜质量、其成本低廉、操作简单，适用于不同直径的纳米小球组装。
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公开(公告)号：CN107569746A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710573123.8
申请日：2017-07-14
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明涉及药品试剂注入领域的一种自动定位定量注入机构，它包括刚性压头1、压头套管2、压头弹簧3、针管弹簧4、针管套筒5、推杆6、定位盘7、针管8。本机构通过压头弹簧3和针管弹簧4的设计，实现了先将针头插入样品一段距离再定量注入试剂的功能；同时，通过设定定位盘7和针管套筒5间距离可以调整针头预先插入的深度，整个过程只需要给刚性压头1一个竖直向下位移即可，压头位移和插入距离还有针管8直径决定了注入量，因此只需控制刚性压头1位移即可实现定量注入。本发明简单可靠，易于装载在仪器设备上实现自动注入功能，且只需控制单轴运动便能实现所有功能。
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公开(公告)号：CN106542494A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610850447.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0038 , B81C2201/0174
Abstract: 本发明公开了一种柔性结构中的中的多层微纳结构制作方法。该方法将待制备的不等高微纳结构按照结构高度分类；采用PDMS对硅模版复型的方式制备最低高度部分的微纳结构；采用高保型转移方法，依次由低到高地将其余高度部分的微纳结构作为待转移PDMS结构，进行转移制备，直至最大高度的微纳结构部分制备完毕。本发明通过逐层转移单层结构到基层结构上的方法完成多层不等高微纳结构的制备。工艺过程简单，易于实现微纳结构集成，将广泛应用于仿生多层微纳结构的制作以及超疏水结构的制作中。
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公开(公告)号：CN106185792A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610585459.1
申请日：2016-07-22
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B81C1/00214 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种超疏水微纳复合结构的全参数可控制备方法，属于微纳结构制备技术领域。该方法是将微米结构和纳米结构制备结合起来，通过分层制备，即通过光刻实现微米结构制备，通过胶体软刻蚀和体硅刻蚀实现纳米结构制备，微米和纳米结构的复合是通过纳米微球掩膜与微米结构阵列复合来实现的。该方法为微纳结构超疏水表面的科学研究和工程实践提供了研究基础，有效的将材料表面的宏观现象与微观结构联系起来，为定量、定性的探索超疏水表面的物理化学性质提供了基础。该方法是将胶体软刻蚀与体硅刻蚀结合起来，工艺可控性强，操作简单，成本低廉，加工精度高。
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