一种简化的MEMS多环谐振陀螺自适应闭环控制方法

    公开(公告)号:CN110482479B

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN201910642666.X

    申请日:2019-07-16

    Abstract: 本发明公开了一种针对硅微机械多环谐振陀螺的简化的自适应闭环控制方法,属于微机电系统设计领域。该方法使用一个带有积分器及变带宽高通滤波器的自适应控制单元作为陀螺敏感模态闭环控制器,避免了由于调制解调信号引起的相位误差,消除了由于温度变化而引起陀螺仪固有频率发生变化导致的系统稳定性降低;控制器将敏感模态位移信号转换成与哥氏力反相的反馈信号,通过检测反馈信号的大小确定角速度。同时,反馈力反馈至陀螺敏感模态,抑制由哥氏力和外部激扰力引起的陀螺敏感模态振荡,提高陀螺仪系统的稳定性。

    一种大视场超分辨流体显微成像系统及其实现方法

    公开(公告)号:CN110618131B

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN201910867232.X

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种大视场超分辨流体显微成像系统及其实现方法,属于光流体、光聚焦、光成像等领域,主要涉及微纳光学、微纳加工、微流控、显微成像等技术。本专利将超振荡平面柱透镜用于流体显微成像,借助其可在透镜后表面的远场甚至超远场处产生半高宽突破衍射极限光片的优势,将产生的光片作为超分辨片光源,利用样品在微流体中的随动现象,对样品进行面扫描成像,有效突破经典光学领域视场与分辨率之间的固有矛盾,满足未来片上智能流体分析测试系统的发展要求,创制一种全新的流体显微成像与检测分析新方法。本发明提出的大视场超分辨流体显微成像方法还可拓展为将超振荡平面柱透镜产生的光片作为动态超分辨片光源,对生物组织进行层析显微成像,对整个显微光学成像领域中存在的视场与超分辨问题具有颠覆性意义。

    一种高振型稳定性的MEMS环形谐振器

    公开(公告)号:CN113753843A

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202110753958.8

    申请日:2021-07-04

    Abstract: 本发明公开了一种高振型稳定性的新型微环形谐振器,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该谐振器由基底层1、器件层2和锚点3构成;所述器件层2由环形谐振子4与包括长梁9、短梁10在内的四组约束梁构成;所述环形谐振子4由4组约束梁分别沿0°、90°、180°、270°方向连接到锚点上,每组梁均沿径线方向与环形谐振子连接;一组约束梁分为轴对称的两支,每支由N支单折叠梁首尾相接构成。本发明使用品质因数和灵敏度较高的圆环作为谐振结构,关键特征在于在其正交方向设置多组约束梁,使谐振器在沿短梁平行方向的刚度远小于其他方向,约束结构沿此方向振动,从而抑制了由加工工艺误差产生的环形质量分布不均所导致的模态振型失稳,显著提高了MEMS环形谐振器模态振型稳定性。

    一种大视场超分辨流体显微成像系统及其实现方法

    公开(公告)号:CN110618131A

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201910867232.X

    申请日:2019-09-12

    Abstract: 本发明公开了一种大视场超分辨流体显微成像系统及其实现方法,属于光流体、光聚焦、光成像等领域,主要涉及微纳光学、微纳加工、微流控、显微成像等技术。本专利将超振荡平面柱透镜用于流体显微成像,借助其可在透镜后表面的远场甚至超远场处产生半高宽突破衍射极限光片的优势,将产生的光片作为超分辨片光源,利用样品在微流体中的随动现象,对样品进行面扫描成像,有效突破经典光学领域视场与分辨率之间的固有矛盾,满足未来片上智能流体分析测试系统的发展要求,创制一种全新的流体显微成像与检测分析新方法。本发明提出的大视场超分辨流体显微成像方法还可拓展为将超振荡平面柱透镜产生的光片作为动态超分辨片光源,对生物组织进行层析显微成像,对整个显微光学成像领域中存在的视场与超分辨问题具有颠覆性意义。

    一种多源辐射耦合的目标红外偏振特征反演方法

    公开(公告)号:CN119880161A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510370926.8

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种多源辐射耦合的目标红外偏振特征反演方法,包括:步骤S1,获取背景、目标和入射源的温度参数以及入射源的角度参数和目标的表面材质参数;步骤S2,计算背景、目标和入射源等效的黑体辐射亮度;步骤S3,计算第一镜面反射热辐射分量和第二镜面反射热辐射分量;步骤S4,计算第一漫反射热辐射分量和第二漫反射热辐射分量;步骤S5,计算目标自发热辐射分量;步骤S6,根据第一镜面反射热辐射分量、第二镜面反射热辐射分量、第一漫反射热辐射分量、第二漫反射热辐射分量和目标自发热辐射分量得到反射斯托克斯矢量内的三个参量;步骤S7,根据三个参量得到目标的目标偏振度。有益效果是本发明能够提升目标红外偏振特征反演的准确性。

    芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺

    公开(公告)号:CN107796383B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201710961356.5

    申请日:2017-10-17

    Abstract: 本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成;所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成;所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4,导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9;基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台,极大地降低了旋转调制式陀螺的体积,提高了集成度;相比原有的该类陀螺,体积减小了大约2个数量级,形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。

    芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺

    公开(公告)号:CN107796383A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710961356.5

    申请日:2017-10-17

    CPC classification number: G01C19/5656

    Abstract: 本发明公开了一种芯片级旋转调制式MEMS硅微机械陀螺,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。陀螺由用于支撑旋转平台并维持其转动的底座以及SOI硅片构成;所述底座由玻璃片1以及溅射在玻璃片上表面的第一金属电极2、第二金属电极3组成;所述SOI硅片的器件层形成微机械陀螺4,导线组5以及驱动电极6、驱动检测电极7、第一敏感检测电极8、第二敏感检测电极9;基底层形成旋转调制平台。本发明利用同一张SOI圆片的不同层形成一体化的微机械陀螺及其旋转调制平台,极大地降低了旋转调制式陀螺的体积,提高了集成度;相比原有的该类陀螺,体积减小了大约2个数量级,形成了芯片级旋转调制式微机械陀螺。

    一种高振型稳定性的MEMS环形谐振器

    公开(公告)号:CN113753843B

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202110753958.8

    申请日:2021-07-04

    Abstract: 本发明公开了一种高振型稳定性的新型微环形谐振器,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该谐振器由基底层1、器件层2和锚点3构成;所述器件层2由环形谐振子4与包括长梁9、短梁10在内的四组约束梁构成;所述环形谐振子4由4组约束梁分别沿0°、90°、180°、270°方向连接到锚点上,每组梁均沿径线方向与环形谐振子连接;一组约束梁分为轴对称的两支,每支由N支单折叠梁首尾相接构成。本发明使用品质因数和灵敏度较高的圆环作为谐振结构,关键特征在于在其正交方向设置多组约束梁,使谐振器在沿短梁平行方向的刚度远小于其他方向,约束结构沿此方向振动,从而抑制了由加工工艺误差产生的环形质量分布不均所导致的模态振型失稳,显著提高了MEMS环形谐振器模态振型稳定性。

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