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公开(公告)号：CN106542494A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610850447.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0038 , B81C2201/0174
Abstract: 本发明公开了一种柔性结构中的中的多层微纳结构制作方法。该方法将待制备的不等高微纳结构按照结构高度分类；采用PDMS对硅模版复型的方式制备最低高度部分的微纳结构；采用高保型转移方法，依次由低到高地将其余高度部分的微纳结构作为待转移PDMS结构，进行转移制备，直至最大高度的微纳结构部分制备完毕。本发明通过逐层转移单层结构到基层结构上的方法完成多层不等高微纳结构的制备。工艺过程简单，易于实现微纳结构集成，将广泛应用于仿生多层微纳结构的制作以及超疏水结构的制作中。
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公开(公告)号：CN106185792A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610585459.1
申请日：2016-07-22
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B81C1/00214 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种超疏水微纳复合结构的全参数可控制备方法，属于微纳结构制备技术领域。该方法是将微米结构和纳米结构制备结合起来，通过分层制备，即通过光刻实现微米结构制备，通过胶体软刻蚀和体硅刻蚀实现纳米结构制备，微米和纳米结构的复合是通过纳米微球掩膜与微米结构阵列复合来实现的。该方法为微纳结构超疏水表面的科学研究和工程实践提供了研究基础，有效的将材料表面的宏观现象与微观结构联系起来，为定量、定性的探索超疏水表面的物理化学性质提供了基础。该方法是将胶体软刻蚀与体硅刻蚀结合起来，工艺可控性强，操作简单，成本低廉，加工精度高。
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公开(公告)号：CN105352857B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201510884588.6
申请日：2015-12-04
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01N13/00
Abstract: 本发明公开了一种观测润湿微观行为的润湿芯片结构及其制备和观测方法，属于表面润湿研究领域。所述的润湿芯片由一层有结构的PDMS基材和一层无结构的PDMS基材键合而成；所述的有结构的PDMS基材，在PDMS上表面，有一反映待观测润湿微观行为的二维规则微结构空腔，一储液空腔，以及一将所述二维规则微结构空腔和储液空腔连通的连通空腔；所述无结构的PDMS基材则类似盖板功能。该芯片将三维的液滴转换成二维液滴模型，实现液滴在微尺度下润湿行为的稳定状态和三相接触线的动态过程的观测。本发明观测的润湿微观状态清晰，且操作简便；且材料成本低廉、观测设备常见和应用广泛。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107522163A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710480011.8
申请日：2017-06-22
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B81B7/02 , B81C1/00349
Abstract: 本发明公开了一种PDMS结构的高保型转移方法，可以用于PDMS柔性多层微纳结构的制备。该方法首先制备待转移PDMS结构的硅模板2；制作PDMS转移层5；沿硅模板中央缓缓试滴准量的PDMS溶液，待其从表面中央往四周散开，缓缓流进各个结构空腔内，要求PDMS溶液不溢出硅片模板表面以外区域；使用PDMS转移层5，置于硅模板2有PDMS结构的一面，均匀施加压力，放入恒温箱中固化后取出，然后将硅模板2剥离，这样硅模板2上各结构空腔内的PDMS结构就保型转移至PDMS转移层5上。本发明工艺过程相对简单，为制备多层微纳结构工艺提供了重要保障，也为转移工艺在其他微纳结构制备工艺的应用提供了新的解决方案。
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公开(公告)号：CN105352857A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510884588.6
申请日：2015-12-04
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01N13/00
Abstract: 本发明公开了一种观测润湿微观行为的润湿芯片结构及其制备和观测方法，属于表面润湿研究领域。所述的润湿芯片由一层有结构的PDMS基材和一层无结构的PDMS基材键合而成；所述的有结构的PDMS基材，在PDMS上表面，有一反映待观测润湿微观行为的二维规则微结构空腔，一储液空腔，以及一将所述二维规则微结构空腔和储液空腔连通的连通空腔；所述无结构的PDMS基材则类似盖板功能。该芯片将三维的液滴转换成二维液滴模型，实现液滴在微尺度下润湿行为的稳定状态和三相接触线的动态过程的观测。本发明观测的润湿微观状态清晰，且操作简便；且材料成本低廉、观测设备常见和应用广泛。
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公开(公告)号：CN106115613A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610584610.X
申请日：2016-07-22
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: B81C1/00349 , B81C1/00642 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种大面积单层致密纳米晶体微球自组装方法、装置及装置的使用方法，属于薄膜制备领域。该纳米微球薄膜组装方法结合旋涂和气‑液界面组装技术优点，分两步主动调节单层致密纳米微球薄膜的成形过程，即：通过旋涂，确保在基底上形成单层纳米层，再将基底上的单层纳米层剥离在液面，通过添加表面活性剂推挤，使不连续的单层纳米组装成致密纳米薄膜，完成大面积单层致密纳米微球薄膜的组装过程。该方法还可以通过最后降低液面，将该单层膜转移到第二基底上。该方法很大程度提高了单层纳米微球薄膜的成膜质量、其成本低廉、操作简单，适用于不同直径的纳米小球组装。
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公开(公告)号：CN107522163B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201710480011.8
申请日：2017-06-22
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种PDMS结构的高保型转移方法，可以用于PDMS柔性多层微纳结构的制备。该方法首先制备待转移PDMS结构的硅模板2；制作PDMS转移层5；沿硅模板中央缓缓试滴准量的PDMS溶液，待其从表面中央往四周散开，缓缓流进各个结构空腔内，要求PDMS溶液不溢出硅片模板表面以外区域；使用PDMS转移层5，置于硅模板2有PDMS结构的一面，均匀施加压力，放入恒温箱中固化后取出，然后将硅模板2剥离，这样硅模板2上各结构空腔内的PDMS结构就保型转移至PDMS转移层5上。本发明工艺过程相对简单，为制备多层微纳结构工艺提供了重要保障，也为转移工艺在其他微纳结构制备工艺的应用提供了新的解决方案。
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公开(公告)号：CN106542494B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201610850447.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性结构中的中的多层微纳结构制作方法。该方法将待制备的不等高微纳结构按照结构高度分类；采用PDMS对硅模版复型的方式制备最低高度部分的微纳结构；采用高保型转移方法，依次由低到高地将其余高度部分的微纳结构作为待转移PDMS结构，进行转移制备，直至最大高度的微纳结构部分制备完毕。本发明通过逐层转移单层结构到基层结构上的方法完成多层不等高微纳结构的制备。工艺过程简单，易于实现微纳结构集成，将广泛应用于仿生多层微纳结构的制作以及超疏水结构的制作中。
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