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公开(公告)号：CN119706728A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411331860.3
申请日：2024-09-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及半导体设备、微机电系统气体传感器、方法。示例提供了一种半导体设备。半导体设备包括辐射元件和检测元件。辐射元件包括用于辐射电磁波的辐射层。检测元件包括用于检测电磁波的检测层。此外，半导体设备包括衬底和界面层。界面层被布置在辐射元件和/或检测元件与衬底之间。辐射元件和/或检测元件的热导率不同于界面层的热导率。
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