公开(公告)号：CN106170119B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201610282799.7

申请日：2016-04-29

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  M·武尔策 ,  S·巴曾 ,  A·德厄

IPC: H04R19/00

Abstract: 本申请涉及用于MEMS换能器的系统和方法。根据一个实施例，一种微机电系统(MEMS)换能器包括：第一电极；第二电极，固定至第二电极的周界处的锚；以及机械支撑件，与第二电极的周界处的锚分离并且机械连接至第一电极和第二电极。机械支撑件固定至第二电极的一部分，使得在操作期间，在机械结构与第二电极的周界之间发生第二电极的最大偏转。

公开(公告)号：CN106170119A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610282799.7

申请日：2016-04-29

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  M·武尔策 ,  S·巴曾 ,  A·德厄

IPC: H04R19/00

Abstract: 本申请涉及用于MEMS换能器的系统和方法。根据一个实施例，一种微机电系统(MEMS)换能器包括：第一电极；第二电极，固定至第二电极的周界处的锚；以及机械支撑件，与第二电极的周界处的锚分离并且机械连接至第一电极和第二电极。机械支撑件固定至第二电极的一部分，使得在操作期间，在机械结构与第二电极的周界之间发生第二电极的最大偏转。

公开(公告)号：CN115250096A

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202210398222.8

申请日：2022-04-15

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·付罗莉安 ,  N·德米勒里 ,  P·格雷纳 ,  A·韦斯鲍尔 ,  M·武尔策 ,  B·青泽凌

IPC: H03F13/00 ,  H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  H04R19/04

Abstract: 本公开的实施例涉及差分MEMS器件的单端读出。一种电路包括第一偏置电压源、第二偏置电压源、耦联在第一偏置电压源与电路的第一端子之间的第一电阻器器件、耦联在第二偏置电压源与电路的第二端子之间的第二电阻器器件、耦联在第二偏置电压源与第三端子之间的第三电阻器器件、耦联在第三端子与接地之间的第一电容器、以及具有耦联到第二端子的输入和耦联到电路输出的放大器。