公开(公告)号：CN109205545A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810696124.6

申请日：2018-06-29

Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司

Inventor： E·兰德格拉夫 ,  S·G·阿尔伯特 ,  S·比塞尔特 ,  S·普雷格尔 ,  M·罗斯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/12 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/00166 ,  G01L9/12 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/088 ,  B81B3/0032 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0264

Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。

公开(公告)号：CN109205545B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201810696124.6

申请日：2018-06-29

Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司

Inventor： E·兰德格拉夫 ,  S·G·阿尔伯特 ,  S·比塞尔特 ,  S·普雷格尔 ,  M·罗斯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/12 ,  G01P15/125

Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。