公开(公告)号：CN103633000B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201310364328.7

申请日：2013-08-20

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 末吉秀树 ,  宫迫久显 ,  荻原洁 ,  滨田崇广

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

Abstract: 提供一种基板处理装置，缩短摆动部件的摆动运动的收敛，防止基板的通过的错误检测，并且缩短基板传送间隔来提高基板的传送效率，从而能够实现基板的处理效率的提高。基板处理装置(1)的基板检测装置(2)具备：摆动部件(5)的一端部的检测辊(6)；摆动部件(5)的另一端部的配重(5C)及磁铁(7)；检测传感器(8)，若摆动部件(5)从基板(B)与检测辊(6)相碰前的摆动部件的初始位置(P1)向旋转方向(R)旋转，则检测出磁铁(7)所产生的磁场的变化并发送检测信号(DS)；以及摆动制动器(11)，在摆动部件(5)的初始位置(P1)，将摆动部件(5)保持为相对于垂直线(Z1)倾斜。

公开(公告)号：CN103633000A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310364328.7

申请日：2013-08-20

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 末吉秀树 ,  宫迫久显 ,  荻原洁 ,  滨田崇广

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L22/10

Abstract: 提供一种基板处理装置，缩短摆动部件的摆动运动的收敛，防止基板的通过的错误检测，并且缩短基板传送间隔来提高基板的传送效率，从而能够实现基板的处理效率的提高。基板处理装置(1)的基板检测装置(2)具备：摆动部件(5)的一端部的检测辊(6)；摆动部件(5)的另一端部的配重(5C)及磁铁(7)；检测传感器(8)，若摆动部件(5)从基板(B)与检测辊(6)相碰前的摆动部件的初始位置(P1)向旋转方向(R)旋转，则检测出磁铁(7)所产生的磁场的变化并发送检测信号(DS)；以及摆动制动器(11)，在摆动部件(5)的初始位置(P1)，将摆动部件(5)保持为相对于垂直线(Z1)倾斜。