公开(公告)号：CN101853797B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201010004240.0

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  阿尔伯特·阿齐瓦密提 ,  郭宏图

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/95

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T7/41 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN101924053A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010004815.9

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  葛汉成

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/892

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于检测晶片的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN104091766A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201410258203.0

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  葛汉成

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G01N21/89

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN101853797A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN201010004240.0

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  阿尔伯特·阿齐瓦密提 ,  郭宏图

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/95

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T7/41 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN103630549B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310283291.5

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  林靖 ,  葛汉成 ,  黄国荣

IPC分类号： G01N21/89

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN103630549A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310283291.5

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  林靖 ,  葛汉成 ,  黄国荣

IPC分类号： G01N21/89

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN104091766B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410258203.0

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  葛汉成

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G01N21/89

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN101783306B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201010004722.6

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  林靖 ,  葛汉成 ,  黄国荣

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/892 ,  G01N21/01

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN101924053B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201010004815.9

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  葛汉成

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/892

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。

公开(公告)号：CN101783306A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN201010004722.6

申请日：2010-01-13

申请人： 联达科技设备私人有限公司

发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 ,  林靖 ,  葛汉成

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/892 ,  G01N21/01

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20212 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。