异质接面双极晶体管制造方法

    公开(公告)号:CN100394562C

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200310122562.5

    申请日:2003-12-12

    Inventor: 范政文 曾华洲

    Abstract: 本发明揭露了一种异质接面双极晶体管制造方法。此方法使用同步蒸气(In-Situ Steam)产生氧化层而非传统的等离子体辅助化学气相沉积的氧化层,以使得基极/集电极接面损害可被降低,再者,本发明使用双步骤的外质基极离子植入法以形成二个不同杂质浓度的外质基极,基极的电阻可因此而被降低。

    异质接面双极晶体管制造方法

    公开(公告)号:CN1627485A

    公开(公告)日:2005-06-15

    申请号:CN200310122562.5

    申请日:2003-12-12

    Inventor: 范政文 曾华洲

    Abstract: 本发明揭露了一种异质接面双极晶体管制造方法。此方法使用同步蒸气(In-Situ Steam)产生氧化层而非传统的等离子体辅助化学气相沉积的氧化层,以使得基极/集电极接面损害可被降低,再者,本发明使用双步骤的外质基极离子植入法以形成二个不同杂质浓度的外质基极,基极的电阻可因此而被降低。

    电感元件的制造方法与其结构

    公开(公告)号:CN100336169C

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN200410005041.6

    申请日:2004-02-16

    Abstract: 一种电感元件的制造方法其结构,该电感元件架构于衬底上,该衬底上已配置有平坦化的介电层。该电感元件结构包括第一电感图形、第二电感图形与第三电感图形,其中第一电感图形配置于介电层上。另外,第二电感图形配置于第一电感图形上,且第二电感图形与第一电感图形电连接。此外,第三电感图形配置于第二电感图形上,且第三电感图形是与第二电感图形电连接,其中第一电感图形、第二电感图形与第三电感图形具有相似的图形。由于此电感元件借助多层电感图形增加其厚度,所以可以降低电感元件的阻抗。

    电感元件的制造方法与其结构

    公开(公告)号:CN1658370A

    公开(公告)日:2005-08-24

    申请号:CN200410005041.6

    申请日:2004-02-16

    Abstract: 一种电感元件的制造方法其结构,该电感元件架构于衬底上,该衬底上已配置有平坦化的介电层。该电感元件结构包括第一电感图形、第二电感图形与第三电感图形,其中第一电感图形配置于介电层上。另外,第二电感图形配置于第一电感图形上,且第二电感图形与第一电感图形电连接。此外,第三电感图形配置于第二电感图形上,且第三电感图形是与第二电感图形电连接,其中第一电感图形、第二电感图形与第三电感图形具有相似的图形。由于此电感元件借助多层电感图形增加其厚度,所以可以降低电感元件的阻抗。

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