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公开(公告)号：CN101471428B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200810189449.1
申请日：2008-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/3246 , H01L51/0005 , H01L51/0026
Abstract: 本发明提供在向开口宽度不同的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，可将功能层形成为相等的厚度的电光学装置的制造方法及该电光学装置的制造中使用的液状物喷出装置。当制造电光学装置(100)的元件基板(10)时，在制造分辨率低的电光学装置用和分辨率高的电光学装置用的任意一种情形下，均向由隔壁(5b)包围的凹部(5e)内喷出液状物(85)，将液状物充填到凹部内后，从液状物除去溶剂成分形成有机功能层(86)。在进行该工序之际，当凹部的开口宽度(W1)较窄时，向凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物以使弯液面鼓出，当凹部的开口宽度(W2)较宽时，向凹部充填功能层形成材料浓度低的液状物以使弯液面鼓出。
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公开(公告)号：CN100455438C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200510099254.4
申请日：2005-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , B41J29/393 , H05K2201/09909 , H05K2203/013
Abstract: 设置一种与薄膜图案对应的贮格围堰图案或疏液图案，使其能够在相对于液滴喷出装置的扫描方向倾斜延伸的部分形成良好的薄膜图案。本发明的图案的形成方法包括：形成包围所述图案形成区域的贮格围堰图案的步骤，使(m、n)的可弹落位置与第一液滴的第一投影图像的中心大体一致情况下的所述的第一投影图像的范围，和(m+i、n+j)的可弹落位置与所述的第二液滴的第二投影图像的中心大体一致情况下的所述的第二投影图像的范围，位于所述的物体表面上的图案形成区域内。而且所述的第一液滴和所述的第二液滴，由所述的(m、n)的可弹落位置与所述的(m+i、n+j)的可弹落位置之间的距离所决定，使其在所述图案形成区域上扩展后互相合流。
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公开(公告)号：CN100440428C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200610077881.2
申请日：2006-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/288 , H01L21/3205 , H01L21/768
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3295
Abstract: 本发明提供在围堰上不残留弹落的功能液的残渣、使该功能液确实地流入图案形成区域内、得到可靠性高的膜图案的膜图案形成方法，用该形成方法得到的膜图案、具备该膜图案的器件、电光学装置和电子仪器。本发明是将功能液(X1)配置在基板(P)上形成膜图案的方法，首先，在基板(P)上形成与膜图案的形成区域(34)相对应的围堰(B)。而且，将功能液(X1)配置在由围堰(B)区分的图案形成区域(34)内。而且，使功能液(X1)进行固化处理，形成膜图案。此时，在相对于围堰(B)的上面的功能液(X1)的前进接触角和后退接触角之差成为10°以上而且后退接触角成为13°以上的条件下进行功能液X1的配置。
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公开(公告)号：CN100399566C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200510092633.0
申请日：2005-08-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/12 , H01L27/124 , H01L27/1292
Abstract: 本发明提供一种有源矩阵基板的制造方法，能够在半导体膜和像素电极之间喷出导电性材料形成导电膜时，防止导电性材料从半导体膜上流出，确保导电膜有充分的膜厚。有源矩阵基板(20)，在基板(P)上具备：格子图形的布线(40、42)；像素电极(45)，配置在布线(40、42)包围的区域中；开关元件(30)，通过导电膜(44)，与像素电极(45)和布线(42)电连接。该有源矩阵基板(20)具备辅助导电部(50)，将像素电极(45)与导电膜(44)电连接。此外，在辅助导电部(50)上的一部分上还具备堤坝(61)。
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公开(公告)号：CN1741712A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510087593.0
申请日：2005-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L51/0022 , C23C24/00 , H01L51/055 , H05K3/125 , H05K2201/09727 , H05K2201/09909 , H05K2203/013
Abstract: 本发明涉及布线图案形成方法。设第1区域的宽度是第1宽度，第2区域的宽度是所述第1宽度以下的第2宽度。则布线图案形成方法包含向第1区域喷出直径在所述第1宽度以下且所述第2宽度以上的液滴，形成覆盖所述第1区域和所述第2区域的所述导电性材料层的步骤(A)。在这里，所述步骤(A)包括喷出所述液滴，使所述液滴射到面对所述第1区域和所述第2区域的交界线的位置的步骤(a1)。从而不向具有宽度小于液滴的直径的区域喷出液滴地在该区域设置导电性材料层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100531520C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200510108593.4
申请日：2005-10-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/12 , H01L27/1292 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L2224/18 , H05K3/1241
Abstract: 提供一种能以高精度稳定形成细线状微细图案的贮格围堰结构体、图案形成方法、电光学装置及电子仪器。一种隔壁结构体，是设置了与用功能液形成的图案对应的凹部的隔壁结构体，其特征在于：其中具备与第一图案(40)对应设置的第一凹部(56)；与在第一凹部(56)的一部分上设置的比第一凹部(56)宽，而且至少外周的一部分上具有圆弧形状的第二图案对应的第二凹部(57)。
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公开(公告)号：CN1862767A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200610077881.2
申请日：2006-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/288 , H01L21/3205 , H01L21/768
CPC classification number: H01L51/0005 , H01L27/3295
Abstract: 本发明提供在围堰上不残留弹落的功能液的残渣、使该功能液确实地流入图案形成区域内、得到可靠性高的膜图案的膜图案形成方法，用该形成方法得到的膜图案、具备该膜图案的器件、电光学装置和电子仪器。本发明是将功能液(X1)配置在基板(P)上形成膜图案的方法，首先，在基板(P)上形成与膜图案的形成区域(34)相对应的围堰(B)。而且，将功能液(X1)配置在由围堰(B)区分的图案形成区域(34)内。而且，使功能液(X1)进行固化处理，形成膜图案。此时，在相对于围堰(B)的上面的功能液(X1)的前进接触角和后退接触角之差成为10°以上而且后退接触角成为13°以上的条件下进行功能液X1的配置。
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公开(公告)号：CN1764333A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510116454.6
申请日：2005-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L21/288 , H01L21/76838 , H01L51/0022 , H05K3/125 , H05K2201/09781 , H05K2203/013 , H05K2203/1476 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的图案形成方法，是在形成功能性膜之前，将设计图案分割为子区域，配置第1液状体以描绘该子区域的边界线，经过中间干燥工序，形成线状膜(38b)、(38c)、(38d)。接着，配置第2液状体以描绘子区域，形成第2液状体的图案(35a)、(35b)、(35c)、(35d)，经过主干燥工序，完成一体化的功能性膜。由此，本发明提供在形成功能性膜的图案时可以在线宽或形状等方面高精度地形成的图案形成方法以及功能性膜。
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公开(公告)号：CN101428496A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810172615.7
申请日：2008-11-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 酒井真理
IPC: B41J2/01 , B41J2/04 , B41J2/07 , B41J29/393 , H05B33/10
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04541 , B41J2/0456 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2202/09 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供液状体的涂敷方法和有机EL元件的制造方法。液状体的涂敷方法从多个喷嘴对涂敷区域喷出至少由1个以上液滴构成的多个液滴群(Gr1、Gr2)，对于各液滴群，提供以修正间隔Δq1作为基准而规格化的多个修正水准，把修正间隔Δq2设定为修正间隔Δq1的3倍的值。向涂敷区域涂敷的液状体的涂敷量，能实现对根据成为基准的驱动信号喷出液滴，构成各液滴群(Gr1、Gr2)时的水准“0”施加以Δq1、2Δq1、3Δq1、4Δq1、5Δq1、6Δq1、7Δq1、8Δq1的等间隔划分的8个水准修正的9个水准的涂敷量。因此，多个驱动信号把修正间隔Δq1作为基准，最多生成5种对基准的驱动信号加以修正的修正驱动信号。
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公开(公告)号：CN100388107C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200510118637.1
申请日：2005-11-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/1292 , G02F1/13439 , H01L27/1296 , H01L27/3244 , H01L51/0005
Abstract: 本发明可以通过使在围堰部(B)上形成的线状区域(A)的液体注入部(A1)与液体流动部(A2)的线宽相等，使液体注入部(A1)的功能液(L1)的压力P1与液体流动部(A2)的功能液(L2)的压力P2变得大致相等，在基板(P)上形成凹凸不平少的薄膜图案。由此，本发明提供一种能够精度良好且稳定地形成细线状的微细的膜图案的膜图案基板、器件的制造方法、和电光学装置以及电子设备。
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