公开(公告)号：CN103154168A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180038885.9

申请日：2011-08-02

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 玉田修一 ,  平野达彦 ,  梅田刚宏 ,  角田和也 ,  井泽由裕

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  B24B37/04 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/30625 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明的研磨用组合物含有水溶性聚合物、研磨促进剂及氧化剂。水溶性聚合物为具有150mgKOH/1g·固体以上的胺值的聚酰胺多胺聚合物。

公开(公告)号：CN103154168B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201180038885.9

申请日：2011-08-02

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 玉田修一 ,  平野达彦 ,  梅田刚宏 ,  角田和也 ,  井泽由裕

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  B24B37/04 ,  H01L21/321

CPC classification number: H01L21/30625 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明的研磨用组合物含有水溶性聚合物、研磨促进剂及氧化剂。水溶性聚合物为具有150mgKOH/1g·固体以上的胺值的聚酰胺多胺聚合物。