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公开(公告)号：CN107004620A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063788.3
申请日：2015-11-18
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 布莱德利·M·波玛李欧 , 艾利克·D·威尔森
IPC: H01L21/67
Abstract: 用于在将半导体基板装载及卸载至半导体处理工具的装载锁室中的期间减少微粒污染的一种系统及方法。提供一种测量装载锁内部与外界大气之间的差压的传感器。所述方法使用预测何时停止装载锁排气的算法，以使得在每次门开启时实现小的、正的、可重复的压力猝发。此算法将针对排气速率及系统排气部件的响应时间的变化而自动作出调整。
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公开(公告)号：CN107004620B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201580063788.3
申请日：2015-11-18
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 布莱德利·M·波玛李欧 , 艾利克·D·威尔森
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种用于在将半导体基板装载及卸载至半导体处理工具的装载锁室中的期间减少微粒污染的一种排气装载锁室的方法及装载锁系统，其中所述装载锁系统包括测量装载锁内部与外界大气之间的差压的传感器。所述方法使用预测何时停止装载锁排气的算法，以使得在每次门开启时实现小的、正的、可重复的压力猝发。此算法将针对排气速率及系统排气部件的响应时间的变化而自动作出调整。本发明还提供一种包含涉及对装载锁室进行排气的指令的非暂时性计算机可读储存媒体。
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公开(公告)号：CN111263972B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201880068880.2
申请日：2018-10-23
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 一种监测离子束的装置、控制离子束的装置及方法。所述监测离子束的装置可包括：处理器；以及耦合到所述处理器的存储单元，所述存储单元包括显示例程，其中显示例程能够在处理器上运行以管理对离子束的监测。显示例程可包括测量处理器以接收离子束的多个点束轮廓，所述点束轮廓是在离子束的快速扫描及与快速扫描同时实施的探测器的慢速机械扫描期间收集的。快速扫描可包括沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率进行的多个扫描循环，且慢速机械扫描是在与快速扫描方向平行的方向上执行的。测量处理器还可发送显示信号以显示从所述多个点束轮廓导出的至少一组信息。
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公开(公告)号：CN111263972A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201880068880.2
申请日：2018-10-23
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 一种监测离子束的装置。所述装置可包括：处理器；以及耦合到所述处理器的存储单元，所述存储单元包括显示例程，其中显示例程能够在处理器上运行以管理对离子束的监测。显示例程可包括测量处理器以接收离子束的多个点束轮廓，所述点束轮廓是在离子束的快速扫描及与快速扫描同时实施的探测器的慢速机械扫描期间收集的。快速扫描可包括沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率进行的多个扫描循环，且慢速机械扫描是在与快速扫描方向平行的方向上执行的。测量处理器还可发送显示信号以显示从所述多个点束轮廓导出的至少一组信息。
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