公开(公告)号：CN111263972B

公开(公告)日：2023-01-06

申请号：CN201880068880.2

申请日：2018-10-23

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 艾利克·D·威尔森 ,  乔治·M·葛梅尔 ,  施露蒂·陈纳迪 ,  丹尼尔·泰格尔 ,  雪恩·康利

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种监测离子束的装置、控制离子束的装置及方法。所述监测离子束的装置可包括：处理器；以及耦合到所述处理器的存储单元，所述存储单元包括显示例程，其中显示例程能够在处理器上运行以管理对离子束的监测。显示例程可包括测量处理器以接收离子束的多个点束轮廓，所述点束轮廓是在离子束的快速扫描及与快速扫描同时实施的探测器的慢速机械扫描期间收集的。快速扫描可包括沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率进行的多个扫描循环，且慢速机械扫描是在与快速扫描方向平行的方向上执行的。测量处理器还可发送显示信号以显示从所述多个点束轮廓导出的至少一组信息。

公开(公告)号：CN111263972A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201880068880.2

申请日：2018-10-23

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 艾利克·D·威尔森 ,  乔治·M·葛梅尔 ,  施露蒂·陈纳迪 ,  丹尼尔·泰格尔 ,  雪恩·康利

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种监测离子束的装置。所述装置可包括：处理器；以及耦合到所述处理器的存储单元，所述存储单元包括显示例程，其中显示例程能够在处理器上运行以管理对离子束的监测。显示例程可包括测量处理器以接收离子束的多个点束轮廓，所述点束轮廓是在离子束的快速扫描及与快速扫描同时实施的探测器的慢速机械扫描期间收集的。快速扫描可包括沿快速扫描方向以10Hz或大于10Hz的频率进行的多个扫描循环，且慢速机械扫描是在与快速扫描方向平行的方向上执行的。测量处理器还可发送显示信号以显示从所述多个点束轮廓导出的至少一组信息。