半导体器件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101645461B

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN200910166007.X

    申请日:2009-08-07

    Inventor: 田中浩治

    CPC classification number: H01L21/823481 H01L21/823437 H01L29/4238

    Abstract: 本发明涉及一种半导体器件。所述半导体器件包括:元件隔离膜,其形成在一种导电类型的半导体衬底表面上;栅电极,其具有位于元件隔离膜和元件形成区之间的边界处的一对端部;反型导电类型的源极区和漏极区,其被布置成将栅电极正下方的区域夹在其间;以及杂质扩散区,其具有所述一种导电类型,形成在元件形成区中。源极区与元件形成区中的栅电极正下方的区域中的元件隔离膜和元件形成区之间的边界侧上的区域分离。在杂质扩散区中,与边界侧上的区域相邻的部分被布置在源极区和元件隔离膜之间,并且与源极区和边界侧上的区域接触。杂质扩散区不布置在漏极区和元件隔离膜之间。

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