-
公开(公告)号:CN105463405A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201410461379.6
申请日:2014-09-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒 , 塞法·耶尔马兹
IPC: C23C16/442 , C23C16/24 , C30B28/14 , C30B29/06
CPC classification number: B01J8/24 , B01J8/1827 , B01J8/1836 , B01J19/02 , B01J2208/00407 , B01J2208/00796 , B01J2219/0218 , C01B33/027
Abstract: 本发明涉及用于形成用在流化床反应器中的碳化硅的高纯度硅。本发明还公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
-
公开(公告)号:CN102713001B
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201080052371.4
申请日:2010-11-17
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: E·韦恩·奥斯本 , 迈克尔·V·斯潘格勒 , 莱维·C·艾伦 , 罗伯特·J·格尔特森 , 保尔·E·埃格 , 沃尔特·J·施图平 , 杰拉尔德·蔡因格尔
IPC: C23C16/442 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/442 , C23C16/24 , C23C16/4404 , C23C16/4417 , C23C16/45576 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , Y10S118/05
Abstract: 公开了一种用于产生高纯度涂硅颗粒的流化床反应器。容器具有:外壁、在该外壁内侧的绝热层、至少一个位于该绝热层内侧的加热器、在该加热器内侧的可拆卸同心衬里、中央进口喷嘴、多个流态化喷嘴、至少一个冷却气体喷嘴、以及至少一个产品出口。该系统可以包括在所述衬里内侧的可拆卸同心套筒。在特定系统中,所述中央进口喷嘴被构造成用以在反应器腔室的中央产生一次气体竖直柱以最小化反应器表面上的硅沉积。
-
公开(公告)号:CN105329899A
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201410461386.6
申请日:2014-09-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: E·韦恩·奥斯本 , 马修·J·米勒 , 迈克尔·V·斯潘格勒 , 格拉尔德·A·泽宁戈尔 , 威廉姆·J·昂斯托特 , 沃尔特·J·施图平
IPC: C01B33/027 , B01J8/24 , C04B35/565 , C04B35/63
CPC classification number: B01J8/1872 , B01J8/1818 , B01J8/1836 , B01J19/02 , B01J2208/00008 , B01J2208/00168 , B01J2208/00407 , B01J2208/00761 , B01J2208/00796 , B01J2219/0263 , B01J2219/029 , C01B33/027 , C01B33/029 , C01B33/03 , F27B15/06 , F27D1/0006 , F27D1/045
Abstract: 本发明公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
-
公开(公告)号:CN102271797B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080004317.2
申请日:2010-01-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒 , 格伦·斯图基
IPC: B01J8/18 , C01B33/027
CPC classification number: B01J8/34 , B01J8/1836 , B01J2208/00132 , B01J2208/0084 , C01B33/027
Abstract: 在流化床反应器中,在腔室内部通过在种子粒子上进行化学气相沉积生产硅粒。腔室含有阻挡构件或泡分裂器,阻挡构件或泡分裂器的尺寸和形状被设计成能限制腔室内部的气泡的生长,并且阻挡构件或泡分裂器具有内部通道,加热流体通过所述内部通道通过,以将热量传递给腔室内部的气体。
-
公开(公告)号:CN105366680A
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201410460564.3
申请日:2014-09-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 马修·J·米勒 , 迈克尔·V·斯潘格勒 , 格拉尔德·A·泽宁戈尔 , 威廉姆·J·昂斯托特 , 沃尔特·J·施图平
IPC: C01B33/027 , C01B33/029 , C01B33/03 , C01B33/031
CPC classification number: B01J8/1872 , B01J8/1818 , B01J8/1827 , B01J8/1836 , B01J8/24 , B01J19/02 , B01J2208/00008 , B01J2208/00168 , B01J2208/00407 , B01J2208/00752 , B01J2208/00761 , B01J2219/0263 , C01B33/027
Abstract: 本发明公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
-
公开(公告)号:CN104302810A
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201380003721.1
申请日:2013-12-10
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒
CPC classification number: C23C16/442 , C21D1/25 , C21D6/002 , C22C38/18 , C22C38/40 , C23C30/00 , B32B15/08 , C23C26/00
Abstract: 本发明公开了一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案。所述衬管具有:上部;中部,所述中部包含不同于不锈钢合金的材料;以及下部,所述下部包含马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。
-
公开(公告)号:CN107406976A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201580071050.1
申请日:2015-06-25
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒 , 杰弗里·A·汉森
IPC: C23C16/24 , C01B33/035 , C23C16/442 , B01J8/18 , F27B15/06
Abstract: 本发明公开了用于制造高纯度硅包覆粒子的流化床反应器系统。容器具有外壳、所述外壳内向的绝缘层、所述外壳内向的同心内壳、和定位在所述内壳的内向并限定反应器室的同心衬里。所述内壳和衬里在它们的底部由O形环密封布置密封在一起,以防止所述反应器室中的气体进入所述内壳和所述衬里之间的空间。中央入口喷嘴在所述反应器室中产生竖直的气体羽流。
-
公开(公告)号:CN105460938A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201410460636.4
申请日:2014-09-11
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒 , 马修·J·米勒
IPC: C01B33/027 , B01J8/24
CPC classification number: C23C16/24 , C01B33/027 , C23C16/4417 , C23C16/442
Abstract: 本发明公开了用于流化床反应器的阻挡元件,特别地,公开了一种阻挡元件及其在流化床反应器中的使用方法的实施方式。所述阻挡元件包含多个接纳元件和多个连接所述接纳元件的连接元件,每个接纳元件包含定义了通路的管状壁,所述通路的大小适于接纳内部反应器部件,其中所述阻挡元件占据所述流化床反应器的反应仓室的水平截面的15-60%。
-
公开(公告)号:CN102713001A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201080052371.4
申请日:2010-11-17
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: E·韦恩·奥斯本 , 迈克尔·V·斯潘格勒 , 莱维·C·艾伦 , 罗伯特·J·格尔特森 , 保尔·E·埃格 , 沃尔特·J·施图平 , 杰拉尔德·蔡因格尔
IPC: C23C16/442 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/442 , C23C16/24 , C23C16/4404 , C23C16/4417 , C23C16/45576 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , Y10S118/05
Abstract: 公开了一种用于产生高纯度涂硅颗粒的流化床反应器系统。容器具有:外壁、在该外壁内侧的绝热层、至少一个位于该绝热层内侧的加热器、在该加热器内侧的可拆卸同心衬里、中央进口喷嘴、多个流态化喷嘴、至少一个冷却气体喷嘴、以及至少一个产品出口。该系统可以包括在所述衬里内侧的可拆卸同心套筒。在特定系统中,所述中央进口喷嘴被构造成用以在反应器腔室的中央产生一次气体竖直柱以最小化反应器表面上的硅沉积。
-
公开(公告)号:CN105617955A
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201410601759.5
申请日:2014-10-31
Applicant: 瑞科硅公司
Inventor: 迈克尔·V·斯潘格勒
IPC: B01J8/34
Abstract: 本发明公开了在流化床反应器中使用的分段衬和过渡支撑环。具体地,公开了用于联结具有不同内横截面尺寸的管状区段,以制造在用于制造多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器(FBR)中使用的分段衬的过渡支撑环。还公开了包含所述过渡支撑环的分段衬和包括所述分段衬的流化床反应器。
-
-
-
-
-
-
-
-
-