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公开(公告)号：CN117177158A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202210655197.7
申请日：2022-06-10
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Inventor： 博迪尤安·詹姆斯 , 卡吉尔斯科特·莱尔 , 凯夫兰·雅尼克·皮埃尔
Abstract: 本发明公开了一种MEMS传感器，MEMS传感器包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖背腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片与第二膜片之间形成容纳空间；支撑件，设于容纳空间内，支撑件的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片；对电极，设于容纳空间内；所述第一膜片和所述第二膜片均包括导电部和非导电部，振膜上环形间隔设置有若干通风槽，导电部自振膜的中心向着振膜的边缘延伸且未延伸至通风槽。与现有技术相比，本发明通过将第一膜片和第二膜片设为导电部和非导电部，且导电部避开通风槽的位置，从而可以将导电部定位在振膜的运动可以最有效地转化为电信号的位置，以提高麦克风的灵敏度。
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公开(公告)号：CN117177159A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202210655198.1
申请日：2022-06-10
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Inventor： 博迪尤安·詹姆斯 , 卡吉尔斯科特·莱尔 , 凯夫兰·雅尼克·皮埃尔
Abstract: 本发明公开了一种MEMS传感器，MEMS传感器包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖背腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片与第二膜片之间形成容纳空间；支撑件，设于容纳空间内，支撑件的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片；对电极，设于容纳空间内；所述第一膜片和所述第二膜片均包括导电部和非导电部，非导电部由非掺杂的多晶硅形成，导电部由非导电材料掺杂的多晶硅形成。与现有技术相比，本发明通过将第一膜片和第二膜片设为导电部和非导电部，且非导电部由非掺杂的多晶硅形成，导电部由非导电材料掺杂的多晶硅形成，使得应力更好，不容易剥离。
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公开(公告)号：CN115278488A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210650761.6
申请日：2022-06-09
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种MEMS元件，MEMS元件包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖背腔，振膜包括相对设置的上膜片和下膜片，上膜片与下膜片之间形成容纳空间；对电极，设于容纳空间内；若干支撑件，设置在所述上膜片和所述下膜片之间，所述支撑件的相对两端分别连接所述上膜片和所述下膜片，至少于其中一个所述支撑件内，开设有若干第一腔室；第一腔室于上膜片上贯穿有上通风槽、于下膜片上贯穿有下通风槽，上通风槽与下通风槽相连通。与现有技术相比，本发明的上通风槽与下通风槽相连通以构成通风结构，从而不会降低振膜的局部刚度，同时可以提高振膜的柔顺性和麦克风的灵敏度。
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公开(公告)号：CN114866934A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210482656.6
申请日：2022-05-05
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，微机电系统包括：第一膜片；第二膜片，与第一膜片相对设置；若干支撑件，支撑件包括若干支撑壁，支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片，第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上，用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。
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公开(公告)号：CN114760569A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210471277.7
申请日：2022-04-28
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Inventor： 凯夫兰·雅尼克·皮埃尔 , 博迪尤安·詹姆斯 , 科林·罗伯特·詹金斯 , 科林·魏宏中 , 斯科特·莱尔·嘉吉
IPC: H04R7/14
Abstract: 本申请公开了一种MEMS元件以及电声转换装置，MEMS元件包括：基底，一空腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖空腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片位于第二膜片的背离空腔的一侧，第一膜片包括凸出于第一膜片上的第一凸起；第二膜片包括凸出于第二膜片上的第二凸起，第二凸起朝向背离第一膜片的一侧延伸，第二凸起与第一凸起相对设置。通过于第一膜片上设有第一凸起，第二膜片上设有第二凸起，第一凸起和第二凸起组合形成波纹形的振膜，能减小所形成的振膜的内应力，随着内外压差的增大，振膜膜片的刚度减小，有效提高MEMS元件的机械灵敏度。
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公开(公告)号：CN114222213A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111647718.6
申请日：2021-12-30
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Abstract: 本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，微机电系统包括：第一膜片；第二膜片，与第一膜片相对设置；若干支撑件，支撑件包括若干支撑壁，支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片，第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上，用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。
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公开(公告)号：CN217693710U
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202221418092.1
申请日：2022-06-08
Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
Inventor： 博迪尤安·詹姆斯
IPC: H04R19/04
Abstract: 本实用新型公开了一种MEMS元件以及电声转换装置，MEMS元件包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片与第二膜片之间形成容纳空间；对电极；多个支撑环，每个支撑环均由若干同心设置的第一部分组成，相邻的两个第一部分之间形成第一缺口；于至少一个支撑环中，第一部分由若干同心设置的第二部分组成，相邻的两个第二部分之间形成第二缺口。与现有技术相比，本实用新型利用若干支撑环连接第一膜片和第二膜片，支撑环由第一部分和第一缺口交替间隔组成，通过使用较大的第一部分，使得相邻的第一部分之间的间距较大，解决了对电极中需要大量通槽的技术问题。
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