Invention Publication
- Patent Title: 一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置
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Application No.: CN202111647718.6Application Date: 2021-12-30
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Publication No.: CN114222213APublication Date: 2022-03-22
- Inventor: 帕特安普·哈斯姆克 , 博迪尤安·詹姆斯 , 卡吉尔斯科特·莱尔
- Applicant: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
- Assignee: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
- Current Assignee: 瑞声声学科技(深圳)有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
- Agency: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司
- Agent 姚宝然
- Main IPC: H04R1/02
- IPC: H04R1/02 ; H04R7/02 ; H04R9/02

Abstract:
本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置,微机电系统包括:第一膜片;第二膜片,与第一膜片相对设置;若干支撑件,支撑件包括若干支撑壁,支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片,第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室;连通槽,设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上,用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽,从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性,同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。
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