扩片方法、半导体装置的制造方法、以及粘合片

    公开(公告)号:CN111886673B

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN201980017581.0

    申请日:2019-03-05

    Abstract: 本发明提供一种扩片方法,该方法包括:贴合工序,将多个被粘附物贴合于粘合片(10)的第一粘合剂层(12)或第二粘合剂层(13);扩片工序,使粘合片(10)伸展,以扩大所述多个被粘附物的间隔;以及能量射线照射工序,对第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)照射能量射线,以使第一粘合剂层(12)及第二粘合剂层(13)固化,所述粘合片(10)具有含有第一能量射线固化性树脂的第一粘合剂层(12)、含有第二能量射线固化性树脂的第二粘合剂层(13)、以及基材(11)。

    分离装置以及分离方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108933085A

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201810533974.4

    申请日:2018-05-29

    CPC classification number: H01L21/30 H01L21/67092

    Abstract: 一种分离装置,对粘接片(AS)上的板状部件(WF)施加四个方向的张力而扩大由板状部件(WF)形成的多个片状体(CP)的间隔。分离装置(10)具备:多个保持机构(20),其由多个保持部件(21)保持粘接片(AS);伸长机构(30A、30B),其使保持部件(21)向四个方向中针对每个保持机构(20)而不同的一个方向移动,并且使该保持部件(21)向该一个方向的交叉方向移动而使粘接片(AS)伸长;控制机构(40),其对保持部件(21)基于伸长机构(30A,30B)的移动进行控制;控制机构(40)根据片状体(CP)的尺寸和间隔的目标值来计算粘接片(AS)的伸长量的目标值,使保持部件(21)在伸长机构(30A、30B)上移动,以使粘接片(AS)的伸长量成为其目标值。

    整齐排列装置及整齐排列方法

    公开(公告)号:CN105609447A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201510790399.2

    申请日:2015-11-17

    Abstract: 一种整齐排列装置及整齐排列方法。整齐排列装置(10)具有:可由支承面(21A)支承多个片状体(CP)的支承单元(20);可将间隔部件(35)插入由支承面(21A)支承的多个片状体(CP)之间的间隔单元(350);使支承面(21A)及间隔部件(35)的至少一方倾斜,并且使各片状体(CP)在支承面(21A)上的规定位置以规定的朝向整齐排列的整齐排列单元(40)。

    半导体装置的制造方法及粘合片

    公开(公告)号:CN110462816B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201880022421.0

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 本发明提供具有下述工序(1)~(4)的半导体装置的制造方法、以及该制造方法所使用的粘合片,所述半导体装置的制造方法是使用粘合片制造半导体装置的方法,所述粘合片具有粘合剂层、以及包含膨胀性粒子且为非粘合性的基材。工序(1):将形成有开口部的框构件粘贴于粘合剂层的粘合表面的工序;工序(2):将半导体芯片放置于在所述框构件的所述开口部露出的所述粘合剂层的粘合表面的一部分的工序;工序(3):用密封材料包覆所述半导体芯片、所述框构件、以及所述粘合剂层的粘合表面中所述半导体芯片的周边部,使该密封材料固化,得到所述半导体芯片被固化密封材料密封而成的固化密封体的工序;工序(4):使所述膨胀性粒子膨胀,从所述固化密封体剥离所述粘合片的工序。本发明可以抑制扇出型封装的制造工序中半导体芯片发生位置偏移,生产性优异,得到的半导体装置的再布线层形成面的平坦性优异。

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