基板处理装置以及其制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115249626A

    公开(公告)日:2022-10-28

    申请号:CN202210271087.0

    申请日:2022-03-18

    Abstract: 根据本发明的一实施例,可以提供一种液体处理装置以及基板处理方法,液体处理装置包括:基板支承单元,包括在下方支承基板的卡盘;流体供应单元,向所述基板供应处理流体;以及回收单元,配置成环绕所述卡盘的周边并回收被供应的所述处理流体。此时,所述基板支承单元由在PFA(Perfluoroalkoxy alkane)树脂中混合与普通碳纤维相比加工成纤维长度短的磨碎碳纤维(MCF,Milled Carbon Fiber)的除电材料形成,从而在进行工艺时,可以有效地去除在基板的表面或者处理装置中产生的静电。

Patent Agency Ranking