Patent search ap:("细美事有限公司" OR "信一化学工业株式会社") AND inv:"李诚潾" Page 1

1.

发明公开
基板处理装置以及其制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN115249626A

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202210271087.0

申请日：2022-03-18

Applicant: 细美事有限公司 , 信一化学工业株式会社

Inventor： 李诚潾 , 张成豪 , 金哲宇 , 柳东烈 , 权宝蓝

IPC: H01L21/67 , H01L21/02

Abstract: 根据本发明的一实施例，可以提供一种液体处理装置以及基板处理方法，液体处理装置包括：基板支承单元，包括在下方支承基板的卡盘；流体供应单元，向所述基板供应处理流体；以及回收单元，配置成环绕所述卡盘的周边并回收被供应的所述处理流体。此时，所述基板支承单元由在PFA(Perfluoroalkoxy alkane)树脂中混合与普通碳纤维相比加工成纤维长度短的磨碎碳纤维(MCF，Milled Carbon Fiber)的除电材料形成，从而在进行工艺时，可以有效地去除在基板的表面或者处理装置中产生的静电。

Patent Agency Ranking