公开(公告)号：CN105829587B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201480070054.3

申请日：2014-08-01

Applicant: 爱思开矽得荣株式会社

Inventor： 金成赫 ,  罗光夏 ,  张现洙

IPC: C30B15/00 ,  C30B15/30 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/00 ,  C30B15/20 ,  C30B15/26 ,  C30B15/30 ,  C30B29/06

Abstract: 一种用于观察晶锭生长过程的视见部件，根据实施方式，所述视见部件用于观察腔室的内部，所述腔室提供了进行晶锭生长过程的空间，所述视见部件包括：主体部，所述主体部布置在所述腔室的一侧，并且具有与所述腔室的内部相连的孔；窗口，所述窗口插入所述主体部的孔中以维持所述腔室的密封状态，并且使光从所述腔室的内部透过所述窗口；以及窗口吹扫部，安装在所述主体部的侧表面上来形成空气幕以防止外部空气进入所述窗口。根据实施方式，所提出的视见部件具有的优点是：不仅防止玻璃的污染还能对污染的玻璃进行自清洁。因此，通过所述视见部件能够清楚地观察在所述腔室的内部生长的晶锭，并且因此基于准确观察的过程数据来确定过程条件，从而生产高质量的晶锭。