公开(公告)号：CN107208307B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201580074232.4

申请日：2015-12-31

Applicant: 爱思开矽得荣株式会社

Inventor： 金润求 ,  罗光夏 ,  安润河

IPC: C30B15/32 ,  C30B29/06 ,  C30B15/20

Abstract: 本发明的实施方式涉及一种在使用丘克拉斯基方法生长硅锭时用于控制硅锭的直径偏差的系统，所述系统可以包括：晶种夹头，所述晶种夹头用于支撑与也称为籽晶的晶种结合并生长的硅锭；测量单元，所述测量单元通过缆绳与所述晶种夹头的上表面连接，并被配置用于测量施加到所述晶种夹头上的负载；负载控制单元，所述负载控制单元在所述晶种夹头与缆绳连接的状态下，通过使所述晶种夹头的位置向上或向下移动，用于改变施加到硅锭上的负载；和控制单元，所述控制单元用于根据由所述测量单元测量的负载值驱动所述负载控制单元来控制施加到硅锭上的负载。因此，防止了在进行单晶锭生长时晶种的摇晃，由此可以减小生长的单晶锭的直径偏差。

公开(公告)号：CN105829587B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201480070054.3

申请日：2014-08-01

Applicant: 爱思开矽得荣株式会社

Inventor： 金成赫 ,  罗光夏 ,  张现洙

IPC: C30B15/00 ,  C30B15/30 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/00 ,  C30B15/20 ,  C30B15/26 ,  C30B15/30 ,  C30B29/06

Abstract: 一种用于观察晶锭生长过程的视见部件，根据实施方式，所述视见部件用于观察腔室的内部，所述腔室提供了进行晶锭生长过程的空间，所述视见部件包括：主体部，所述主体部布置在所述腔室的一侧，并且具有与所述腔室的内部相连的孔；窗口，所述窗口插入所述主体部的孔中以维持所述腔室的密封状态，并且使光从所述腔室的内部透过所述窗口；以及窗口吹扫部，安装在所述主体部的侧表面上来形成空气幕以防止外部空气进入所述窗口。根据实施方式，所提出的视见部件具有的优点是：不仅防止玻璃的污染还能对污染的玻璃进行自清洁。因此，通过所述视见部件能够清楚地观察在所述腔室的内部生长的晶锭，并且因此基于准确观察的过程数据来确定过程条件，从而生产高质量的晶锭。