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公开(公告)号：CN107847858A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680042943.8
申请日：2016-06-15
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： C.M.贝利 , C.M.L.滕纳 , J.R.塔特索尔 , I.S.格雷厄姆 , M.R.切尔尼亚克 , G.P.奈特 , D.门尼 , D.M.普赖斯 , D.M.巴克 , A.J.西利
CPC分类号： B01D53/75 , A62C4/00 , B01D53/68 , B01D53/78 , B01D2252/103 , B01D2257/204 , B01D2257/206 , B01D2258/0216 , C23C16/24 , C23C16/4405 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , F04C19/001 , F04C19/005 , F04C23/006 , F04C29/0092 , F23G7/06 , H01J37/32807 , H01J37/32862 , H01J2237/335 , Y02C20/30
摘要： 使用干式泵来泵送来自半导体行业的多种气体混合物。本发明提供一种液环泵，其定位在所述干式泵与减排设备之间以在废气进入所述减排设备之前去除可溶性腐蚀性物质，从所述液环泵排出的工作流体在进入所述减排设备之前与所述气体分离。
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公开(公告)号：CN103021779A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210392266.6
申请日：2008-07-14
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： H01J37/32844 , H05H2245/1215 , Y02C20/30
摘要： 等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端，位于与开口端相对的等离子体入口，从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面，和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气体入口。等离子炬通过等离子体入口将等离子体物流注入到反应室中，所述等离子体入口被成形为使得等离子体物流朝着第一和第二气体入口向外散布。入口头和等离子体入口的这种成形能够使得等离子体物流可以撞击到气体物流上，当它们从气体入口离开时，并且由此引起相当大比例的气体物流的至少一种组分在气体物流开始在室内混合前进行反应。
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公开(公告)号：CN107847858B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201680042943.8
申请日：2016-06-15
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： C.M.贝利 , C.M.L.滕纳 , J.R.塔特索尔 , I.S.格雷厄姆 , M.R.切尔尼亚克 , G.P.奈特 , D.门尼 , D.M.普赖斯 , D.M.巴克 , A.J.西利
摘要： 使用干式泵来泵送来自半导体行业的多种气体混合物。本发明提供一种液环泵，其定位在所述干式泵与减排设备之间以在废气进入所述减排设备之前去除可溶性腐蚀性物质，从所述液环泵排出的工作流体在进入所述减排设备之前与所述气体分离。
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公开(公告)号：CN103021779B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201210392266.6
申请日：2008-07-14
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： H01J37/32844 , H05H2245/1215 , Y02C20/30
摘要： 等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端，位于与开口端相对的等离子体入口，从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面，和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气体入口。等离子炬通过等离子体入口将等离子体物流注入到反应室中，所述等离子体入口被成形为使得等离子体物流朝着第一和第二气体入口向外散布。入口头和等离子体入口的这种成形能够使得等离子体物流可以撞击到气体物流上，当它们从气体入口离开时，并且由此引起相当大比例的气体物流的至少一种组分在气体物流开始在室内混合前进行反应。
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