公开(公告)号：CN103594531A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201310615126.5

申请日：2013-11-28

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周灵平 ,  罗小兰 ,  彭坤 ,  朱家俊 ,  李德意

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/08

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/02168 ,  C23C14/083 ,  C23C14/10 ,  C23C14/30

Abstract: 本发明属于太阳光伏电池技术领域，公开了一种亲水型非规整多层减反射膜及其制备方法，该减反射膜在基体层表面设有由TiO2膜层和SiO2膜层交替组成的多层膜结构，且靠近基体表面的第一层为TiO2膜层，靠近空气界面的最外层为SiO2膜层；所述多层膜结构的厚度为300nm-350nm。采用电子束蒸发技术镀膜制备该减反射膜。该减反射膜针对现有TiO2系减反射膜透过率不高和亲水性的不足，将TiO2和SiO2两种薄膜交替沉积形成成多层非规整型减反膜，该多层减反射膜可实现光的高透过和亲水性。

公开(公告)号：CN101846756A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010183316.0

申请日：2010-05-26

Applicant: 湖南大学

Inventor： 周灵平 ,  罗小兰 ,  彭坤 ,  朱家俊

IPC: G02B1/11 ,  C23C14/24 ,  C23C14/06 ,  C23C14/10

Abstract: 一种用于玻璃表面增透的MgF2/氧化物复合膜，为MgF2/Al2O3或MgF2/SiO2双层膜结构；它在MgF2膜层与玻璃基底之间插入一层Al2O3或SiO2缓冲层，可在提高膜系增透效果的前提下，利用Al2O3和SiO2层与玻璃表面良好的浸润性，增强膜层与基底之间的附着力，改善MgF2膜层的牢固度，同时发挥Al2O3和SiO2镀层质地坚硬的性能优势，提高整个膜系的抗划擦性，增强其机械性能，满足恶劣工作环境下器件对光伏玻璃表面增透膜的综合性能要求。