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公开(公告)号：CN104634282B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510090539.5
申请日：2015-02-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种光学探针干涉相位测量中相位误差补偿装置，包括：扫描近场光学显微镜模块用于对待测样品进行三维扫描，外差干涉光路模块用于测量待测样品的光场相位并对环境变化对相位引起的误差进行补偿，信号采集与同步解调模块用于对接收到的信号进行解调得到对应点的光场振幅和相位信息并输出到上位机；上位机用于根据输出的光场振幅和相位信息，生成同步的空间位置拓扑形貌图以及对应的光场振幅，相位分布图，实现空间任意高度截面的场分布测量和3D立体场分布测量。上述装置能够对现有纳米光场相位测量中的漂移和误差进行实时补偿，减小外界环境对测量结果的影响，提高测量结果的精度。
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公开(公告)号：CN104634282A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510090539.5
申请日：2015-02-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种光学探针干涉相位测量中相位误差补偿装置，包括：扫描近场光学显微镜模块用于对待测样品进行三维扫描，外差干涉光路模块用于测量待测样品的光场相位并对环境变化对相位引起的误差进行补偿，信号采集与同步解调模块用于对接收到的信号进行解调得到对应点的光场振幅和相位信息并输出到上位机；上位机用于根据输出的光场振幅和相位信息，生成同步的空间位置拓扑形貌图以及对应的光场振幅，相位分布图，实现空间任意高度截面的场分布测量和3D立体场分布测量。上述装置能够对现有纳米光场相位测量中的漂移和误差进行实时补偿，减小外界环境对测量结果的影响，提高测量结果的精度。
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公开(公告)号：CN115184901A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210877465.X
申请日：2022-07-25
Abstract: 本申请提出一种光学发射扫描器和激光雷达装置，所述光学发射扫描器包括光源阵列，用于发出脉冲光束；透镜阵列，设置在所述光源阵列的上方，用于准直所述脉冲光束；以及光学束流阵列，设置在所述透镜阵列的上方，用于偏折所述透镜阵列准直后的脉冲光束；其中，所述光学束流阵列包括多个具有不同三维结构的束流单元，且不同束流单元的出射光线具有不同的出射角度。根据本申请的示例实施例，利用微型化集成方式代替传统的运动部件，相比于现有的激光雷达，具有体积小、稳定性高及使用寿命长等优点。且便于批量化生产，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN104006891A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410236054.8
申请日：2014-05-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米尺度光场相位分布测量装置，包括：扫描近场光学显微镜模块用于实现纳米尺度空间分辨率的扫描和信号采集，外差干涉光路模块用于产生能被处理的低频拍信号，为实现相位解调提供可能性。显微观测对准模块用于监测针尖扫描状态并辅助实现针尖，样品和照明光的对准。信号采集与同步解调模块可以控制探针以纳米精度和步距进行扫描，并实时对收集到的信号进行解调，输出对应点的光场振幅和相位信息。信号处理与存储显示模块将测量的结果采集存储，在计算机生成同步的空间位置拓扑形貌图以及对应的光场振幅，相位分布图。能够实现空间任意高度截面的场分布测量和3D立体场分布测量。
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公开(公告)号：CN102829961A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210316462.5
申请日：2012-08-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及反应堆工程技术领域，本发明公开了一种纳米光子多参数测量平台，其包括多参数可变激发系统、样品位置方向微调单元、显微观测对准系统、扫描近场光学显微镜探测系统和计算机，所述样品位置方向微调单元用于安装待测样品，所述多参数可变激发系统为待测样品提供照明激发光源信号，所述显微观测对准系统调节待测样品的成像区域并采集待测样品的图像信息发送给计算机进行显示，所述扫描近场光学显微镜探测系统采集待测样品的光学近场信息并发送给计算机，所述计算机将光学近场信息进行处理后显示。本发明结构紧凑、可实现多自由度调节，能够实现对纳米光子学器件的给定激发区域进行激发波长可变、入射角度连续可调、偏振状态可控的光激励。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102829961B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201210316462.5
申请日：2012-08-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及纳米光学技术领域，本发明公开一种纳米光子学多参数测量平台，其包括多参数可变激发系统、样品位置方向微调单元、显微观测对准系统、扫描近场光学显微镜探测系统和计算机，所述样品位置方向微调单元用于安装待测样品，所述多参数可变激发系统为待测样品提供照明激发光源信号，所述显微观测对准系统调节待测样品的成像区域并采集待测样品的图像信息发送给计算机进行显示，所述扫描近场光学显微镜探测系统采集待测样品的光学近场信息并发送给计算机，所述计算机将光学近场信息进行处理后显示。本发明结构紧凑、可实现多自由度调节，能够实现对纳米光子学器件的给定激发区域进行激发波长可变、入射角度连续可调、偏振状态可控的光激励。
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公开(公告)号：CN115184900A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210877464.5
申请日：2022-07-25
Abstract: 本申请提供一种激光雷达装置及无人飞行器。本申请提供的激光雷达装置包括：发射单元，设置于无人飞行器的机体上，用于发射探测用的第一激光束；反射单元，与无人飞行器的动力装置相连，并随无人飞行器的动力装置的转动而转动，用于对所述发射单元发出的第一激光束进行偏转；以及接收单元，设置于无人飞行器的机体上，用于接收探测目标返回的、并经过所述反射单元偏转的第二激光束。通过无人飞行器动力装置的复用，减小体积重量、降低功耗，还可以扩大激光雷达的探测范围；通过对反射镜面的复用，最大限度的接收反射回的激光信号。
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公开(公告)号：CN115185024A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210877448.6
申请日：2022-07-25
IPC: G02B3/00
Abstract: 本申请提出一种微透镜阵列、微透镜阵列的制备方法和制备装置，所述微透镜阵列包括光学玻璃基底；光学玻璃球冠，所述光学玻璃球冠设置于所述光学玻璃基底上；折射率匹配胶，设置于所述光学玻璃基底和所述光学玻璃球冠之间，以将所述光学玻璃球冠固定在所述光学玻璃基底上；其中，所述光学玻璃基底、所述光学玻璃球冠和所述折射率匹配胶的折射率相同；所述光学玻璃球冠和所述光学玻璃基底采用同一种光学玻璃制成。根据本申请的示例实施例，在保证透镜球面的光洁度的同时，可实现低成本批量化生产。
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公开(公告)号：CN115061118A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210876624.4
申请日：2022-07-25
IPC: G01S7/481
Abstract: 本申请提供一种激光雷达装置，包括：光学发射扫描器和振镜；光学发射扫描器包括：光源阵列，用于发射第一脉冲光束；透镜阵列，位于第一脉冲光束的出射方向上，用于对第一脉冲光束进行准直；光学束流阵列，位于第一脉冲光束的出射方向上，用于对准直后的第一脉冲光束进行偏折；振镜与所述光学发射扫描器相对设置，振镜的偏转改变第一脉冲光束的方向。通过光源阵列、透镜阵列和光学束流阵列的组合，不依赖任何运动部件实现可寻址的光束空间扫描；将光学发射扫描器与振镜向结合，利用振镜的小幅度偏转达到激光雷达视野内全覆盖，运动机构运动范围显著减小，大大提高系统稳定性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN104006891B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201410236054.8
申请日：2014-05-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米尺度光场相位分布测量装置，包括：扫描近场光学显微镜模块用于实现纳米尺度空间分辨率的扫描和信号采集，外差干涉光路模块用于产生能被处理的低频拍信号，为实现相位解调提供可能性。显微观测对准模块用于监测针尖扫描状态并辅助实现针尖，样品和照明光的对准。信号采集与同步解调模块可以控制探针以纳米精度和步距进行扫描，并实时对收集到的信号进行解调，输出对应点的光场振幅和相位信息。信号处理与存储显示模块将测量的结果采集存储，在计算机生成同步的空间位置拓扑形貌图以及对应的光场振幅，相位分布图。能够实现空间任意高度截面的场分布测量和3D立体场分布测量。
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