-
公开(公告)号：CN101149075A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710163212.1
申请日：2007-10-19
Applicant: 清华大学
IPC: F16C11/06
Abstract: 一种滑动式球形铰链，属机械制造、机器人技术领域。包括球头组件(1)、球窝组件(2)、紧固螺钉(3)和弹簧垫圈(4)，球头组件(1)由球头件(5)和球杆件(6)组成；球窝组件(2)由上球窝盖(7)、下球窝盖(8)组成；所述球头件(5)和球杆件(6)分开进行制造，再连接成球头组件(1)；所述球头组件(1)安装在所述球窝组件(2)的上球窝盖(7)和下球窝盖(8)之间，所述球头组件(1)中的球头件(5)与所述上球窝盖(7)和下球窝盖(8)的球窝表面接触；所述上球窝盖(7)和下球窝盖(8)之间通过螺钉和弹簧垫圈连接，固定所述球头组件(1)。本发明提高了球形铰链的刚度和精度，可实现高达45度许用半锥角，降低了制造成本。
-
公开(公告)号：CN1333182C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200510011614.0
申请日：2005-04-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，属于超精密加工及测量领域。为了满足适应不同负载和不同环境下隔振的需要，本发明公开了一种可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，所述隔振器具有中空的外壳，内部为圆柱形，所述外壳内固定有隔板，将外壳内部分为上腔室和下腔室，隔板上设有多个轴向通孔，上腔室顶部设有与外壳密封连接的活塞，下腔室底部用底板封死，所述隔板上的轴向通孔共有两排，两排轴向通孔对应地沿圆周均布，在与轴向通孔对应位置处，沿隔板径向方向开有径向深孔，每个径向深孔内装配一个阻尼调节杆，在每个阻尼调节杆上与两个轴向通孔对应位置处各开有一个狭缝。通过本发明，可有效实现隔振器阻尼的调整和隔振器刚度的调节。
-
公开(公告)号：CN1670399A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510011614.0
申请日：2005-04-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，属于超精密加工及测量领域。为了满足适应不同负载和不同环境下隔振的需要，本发明公开了一种可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，所述隔振器具有中空的外壳，内部为圆柱形，所述外壳内固定有隔板，将外壳内部分为上腔室和下腔室，隔板上设有多个轴向通孔，上腔室顶部设有与外壳密封连接的活塞，下腔室底部用底板封死，所述隔板上的轴向通孔共有两排，两排轴向通孔对应地沿圆周均布，在与轴向通孔对应位置处，沿隔板径向方向开有径向深孔，每个径向深孔内装配一个阻尼调节杆，在每个阻尼调节杆上与两个轴向通孔对应位置处各开有一个狭缝。通过本发明，可有效实现隔振器阻尼的调整和隔振器刚度的调节。
-
公开(公告)号：CN1333181C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200510011613.6
申请日：2005-04-22
Applicant: 清华大学
IPC: F16F9/02
Abstract: 通用空气伺服动力消振器，属于超精密加工及测量领域。为了解决现有动力消振器存在的刚度和阻尼参数调节困难，难以实现通用化的缺点，本发明提供了一种通用空气伺服动力消振器，包括上端开口下端密封的圆柱形外壳，通过环状橡胶薄膜密封连接在所述外壳上端口处的活塞，以及设在所述活塞和外壳形成的腔室中部的隔板，其特征在于：所述隔板通过环状橡胶薄膜连接在外壳内壁腔室中部，使消振器内部形成相互密封的上、下腔室，所述隔板在上、下腔室空气压力变化时上下活动，所述上、下腔室的外壳壁上分别开有小孔，所述小孔分别连接用以注入压力空气的气管。本发明简单可靠、成本低廉和环境适应性强。
-
公开(公告)号：CN1252542C
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200410009257.X
申请日：2004-06-25
Applicant: 清华大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统，该系统运用动量守恒原理，将硅片承载装置及其驱动导向装置放置在一个由气浮轴承支撑的、具有X、Y两自由度的平衡块上，当硅片承载装置沿一个方向运动时，平衡块反方向运动，消除由于运动反力引起的振动；该系统还装有动量轮系统，用于消除硅片承载装置运动平面内由于动量距不守恒带来的振动；整个系统由三个空气弹簧支撑，吸收其余三个自由度的残余振动，从而进一步提高了硅片定位系统的运动精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101109407A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710121179.6
申请日：2007-08-31
Applicant: 清华大学
IPC: F16C11/06
Abstract: 一种滑动式球形铰链，属机械制造、机器人技术领域。包括球头组件(1)、球窝组件(2)、紧固螺钉(3)和弹簧垫圈(4)，球头组件(1)由球杆件(5)和球头件(6)组成；所述球窝组件(2)由上球窝盖(7)、下球窝盖(8)组成；所述球杆件(5)和球头件(6)分开进行制造，再连接成球头组件(1)；所述上球窝盖(7)上有安装孔；所述下球窝盖(8)上有安装孔；所述球头组件(1)安装在所述球窝组件(2)的上球窝盖(7)和下球窝盖(8)之间，所述球头组件(1)中的球头件(6)与所述上球窝盖(7)和下球窝盖(8)的球窝表面接触；所述上球窝盖(7)和下球窝盖(8)之间通过螺钉和弹簧垫圈连接，固定所述球头组件(1)。本发明提高了球形铰链的刚度和精度，可实现高达45度许用半锥角，降低了制造成本。
-
公开(公告)号：CN1670398A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510011613.6
申请日：2005-04-22
Applicant: 清华大学
IPC: F16F9/02
Abstract: 通用空气伺服动力消振器，属于超精密加工及测量领域。为了解决现有动力消振器存在的刚度和阻尼参数调节困难，难以实现通用化的缺点，本发明提供了一种通用空气伺服动力消振器，包括上端开口下端密封的圆柱形外壳，通过环状橡胶薄膜密封连接在所述外壳上端口处的活塞，以及设在所述活塞和外壳形成的腔室中部的隔板，其特征在于：所述隔板通过环状橡胶薄膜连接在外壳内壁腔室中部，使消振器内部形成相互密封的上、下腔室，所述隔板在上、下腔室空气压力变化时上下活动，所述上、下腔室的外壳壁上分别开有小孔，所述小孔分别连接用以注入压力空气的气管。本发明简单可靠、成本低廉、环境适应性强。
-
公开(公告)号：CN1200321C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN03156436.4
申请日：2003-08-29
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/68 , F16C32/06
Abstract: 步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台定位单元和运行于预处理工位的硅片台定位单元，每个定位单元含有硅片承载装置。本发明设有供硅片承载装置沿Y向运动及交换的可对接的双侧直线导轨及与双侧直线导轨成H型布置的X向直线导轨；所述双侧直线导轨的两端均装有直线电机和气浮轴承，可沿X向导轨作无摩擦的步进运动，其底面也通过气浮轴承支撑在所述基台的上表面；两个硅片承载装置分别设置在双侧直线导轨的两侧。该系统可在保持现有单台曝光硅片运动定位系统的运动速度和加速度的前提下大幅度提升曝光效率；工作空间上不存在重叠和发生干涉的问题，系统结构简单，有效提高了运行的可靠性和定位精度。
-
公开(公告)号：CN1595299A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410009257.X
申请日：2004-06-25
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统，该系统运用动量守恒原理，将硅片承载装置及其驱动导向装置放置在一个由气浮轴承支撑的、具有X、Y两自由度的平衡块上，当硅片承载装置沿一个方向运动时，平衡块反方向运动，消除由于运动反力引起的振动；该系统还装有动量轮系统，用于消除硅片承载装置运动平面内由于动量距不守恒带来的振动；整个系统由三个空气弹簧支撑，吸收其余三个自由度的残余振动，从而进一步提高了硅片定位系统的运动精度。
-
公开(公告)号：CN1485694A
公开(公告)日：2004-03-31
申请号：CN03156436.4
申请日：2003-08-29
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/68 , F16C32/06
Abstract: 步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台定位单元和运行于预处理工位的硅片台定位单元，每个定位单元含有硅片承载装置。本发明设有供硅片承载装置沿Y向运动及交换的可对接的双侧直线导轨及与双侧直线导轨成H型布置的X向直线导轨；所述双侧直线导轨的两端均装有直线电机和气浮轴承，可沿X向导轨作无摩擦的步进运动，其底面也通过气浮轴承支撑在所述基台的上表面；两个硅片承载装置分别设置在双侧直线导轨的两侧。该系统可在保持现有单台曝光硅片运动定位系统的运动速度和加速度的前提下大幅度提升曝光效率；工作空间上不存在重叠和发生干涉的问题，系统结构简单，有效提高了运行的可靠性和定位精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.016 seconds)
