一种能精确预紧和加载的滚珠丝杠副精度保持性试验装置

    公开(公告)号:CN106017915A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610307831.2

    申请日:2016-05-11

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: G01M13/027

    Abstract: 本发明提供了一种滚珠丝杠副精度保持性试验装置,其包括以下内容:直线进给系统包括底座,在底座的两端设置有支架,在其中一支架上设置有伺服电机,伺服电机与滚珠丝杠连接;在底座两侧分别紧固连接有导轨,两导轨上滑动连接有工作台;在滚珠丝杠上套置有丝杠螺母,丝杠螺母通过丝杠螺母座与工作台紧固连接;负载力模拟系统包括固定在底座上的直线电机平台机构,直线电机平台机构的滑动平台与导轨滑动连接;在滑动平台和工作台之间设置有拉压力传感器;预紧力调节系统包括顺次套置在滚珠丝杠上的丝杠螺母、套筒、压力传感器、支撑环和固定环;在支撑环和固定环之间设置有压电陶瓷致动器。本发明通过压电陶瓷致动器的伸缩量来精确控制丝杠螺母预紧力大小,从而保证在滚珠丝杠副运行过程中预紧力的衰减能够自动补偿。

    一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置

    公开(公告)号:CN105666225A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610258353.0

    申请日:2016-04-22

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: B23Q5/402 B23Q1/017 B23Q1/38 B23Q5/44

    Abstract: 本发明涉及一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置。伺服电机驱动滚珠丝杠转动,带动丝杠螺母运动,丝杠螺母通过柔性铰链弹性机构带动工作台沿着导轨低速平稳运动。所述柔性铰链弹性联接机构包括位于内部的方形结构刚性联接内平台和位于外部的框型结构刚性联接外平台,刚性联接内平台和刚性联接外平台之间通过柔性铰链单元连接;柔性铰链单元采用直梁形柔性铰链的平行组合形式进行机构布置,对称分布。丝杠螺母座与刚性联接内平台连接,刚性联接外平台与工作台连接。采用柔性铰链弹性机构能够有效降低因滚珠丝杠弯曲对工作台运动直线度的影响,实现超低速平稳直线运动,满足金刚石飞切机床加工光学零件的要求。

    一种滚珠丝杠转动惯量及摩擦力矩的测量装置

    公开(公告)号:CN103900813A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410165576.3

    申请日:2014-04-23

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种滚珠丝杠转动惯量及摩擦力矩的测量装置,它包括:一底板;两直线导轨,每一直线导轨上分别设置有两滑块;一滚珠丝杠,其两端通过一固定支撑座和一浮动支撑座转动支撑在位于两直线导轨中间的底板上;一扭矩传感器,其一端通过一联轴器连接滚珠丝杠支撑在固定支撑座的一端;一伺服电机,其输出轴通过一联轴器连接扭矩传感器;一移动平台;以及两摩擦力矩测量机构,其分别设置于丝杠螺母座的两侧,每一摩擦力矩测量机构包括一悬臂,悬臂的末端设置有一连接套,连接套通过一竖直方向的直线轴承连接一滑动杆,滑动杆的另一端连接一压力传感器滑动杆上套置有一弹簧,压力压力传感器的底部连接一万向球,万向球的底部接触一平行于滚珠丝杠的直线平板,直线平板紧固连接于底板上。

    一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台

    公开(公告)号:CN105606847B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201610115317.9

    申请日:2016-03-01

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了属于机械制造技术领域的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。所述振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成,柔性铰链机构由直梁型柔性铰链将位于中间部分的终端平台,位于终端平台的上边、下边、左边、右边的输入平台以及刚性连接基体连接组成。平面二轴振动发生装置通过压电陶瓷驱动器驱动柔性铰链机构运动,通过长度计对终端平台转换块的位移信号进行采集和反馈,带动终端平台转换块上的压电式加速度传感器在较高频率下运动;可以实现压电式加速度传感器的高频率高精度平面圆形轨迹运动,其向心加速度幅值稳定度和频率稳定度高,从而能够实现对压电式加速度传感器横向灵敏度的标定。

    用于滚珠丝杠副的平面二自由度高频加载装置和测试平台

    公开(公告)号:CN106092563A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610374383.8

    申请日:2016-05-31

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: G01M13/027

    Abstract: 本发明涉及用于滚珠丝杠副的平面二自由度高频加载装置和测试平台,其中,用于滚珠丝杠副的平面二自由度高频加载装置包括柔性铰链并联机构基体,第一驱动支链和第二驱动支链;其中,柔性铰链并联机构基体正中心设置刚性动平台,过刚性动平台中心的两个垂直方向上分别设置第一柔性支链和第二柔性支链,第一柔性支链和第二柔性支链均对称固定连接于刚性动平台上;在柔性铰链并联机构基体上沿第一柔性支链和第二柔性支链的延长线分别开设直达侧端面的第一安装槽和第二安装槽;第一驱动支链包括安装于第一安装槽内的第一驱动器连接头、第一压电陶瓷制动器和第一拉压力传感器;第二驱动支链包括安装于第二安装槽内的第二驱动器连接头、第二压电陶瓷制动器和第二拉压力传感器。

    一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台

    公开(公告)号:CN105606847A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610115317.9

    申请日:2016-03-01

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: G01P21/00

    Abstract: 本发明公开了属于机械制造技术领域的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。所述振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成,柔性铰链机构由直梁型柔性铰链将位于中间部分的终端平台,位于终端平台的上边、下边、左边、右边的输入平台以及刚性连接基体连接组成。平面二轴振动发生装置通过压电陶瓷驱动器驱动柔性铰链机构运动,通过长度计对终端平台转换块的位移信号进行采集和反馈,带动终端平台转换块上的压电式加速度传感器在较高频率下运动;可以实现压电式加速度传感器的高频率高精度平面圆形轨迹运动,其向心加速度幅值稳定度和频率稳定度高,从而能够实现对压电式加速度传感器横向灵敏度的标定。

    一种滚珠丝杠预紧力和预拉伸量可控调节和测量装置

    公开(公告)号:CN103934723B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201410165778.8

    申请日:2014-04-23

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明属于机械制造技术领域,具体涉及一种滚珠丝杠预紧力和预拉伸量的可控调节和测量装置。丝杠螺母的预紧力的调节是通过三个结构完全相同,且在两个丝杠螺母之间均匀分布的预紧力装置实现的,每个预紧力装置都可以通过旋紧螺母压缩弹簧对两个丝杠螺母进行预紧,预紧力的大小可以通过拉压传感器进行实时测量,从而可以实现对丝杠螺母预紧力的可控调节;滚珠丝杠的预拉伸是通过对分离式移动平台施加拉力,带动滚珠丝杠固定支撑座移动从而对滚珠丝杠产生拉伸力实现的,预拉伸量通过固定于丝杠端部的千分表进行测量,拉伸力的大小通过固定在移动平台侧面的两个拉压传感器进行实时检测。

    两自由度运动解耦柔性铰链机构

    公开(公告)号:CN104895913A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510223680.8

    申请日:2015-05-04

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 一种两自由度运动解耦柔性铰链机构,所述机构包括柔性铰链基体和驱动支链,其中柔性铰链基体包括柔性铰链支链和刚性连接件,刚性连接件包括位于柔性铰链基体中间部分的终端刚性输出平台和分别位于柔性铰链基体上、下、左、右部分的上端、下端、左端、右端刚性平台;所述上端、下端、左端、右端刚性平台分别通过柔性铰链支链与终端刚性输出平台连接,且上端、下端、左端、右端刚性平台分别通过柔性铰链支链与柔性铰链基体的刚性基体连接。通过本发明的两自由度运动解耦柔性铰链机构可以实现终端各向运动和力之间的解耦,从而有助于提高两自由度运动解耦柔性铰链机构的运动精度。

    一种压电柔性回转驱动装置

    公开(公告)号:CN104638974A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201410724548.0

    申请日:2014-12-03

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种压电柔性回转驱动装置,其特征在于:它包括外套筒、基座和转动主体,外套筒固定设置在基座顶面的外周上,转动主体位于外套筒内并设置在基座的中心轴线上。转动主体包括滑动轴承、定位轴、下锁紧构件、回转构件、上锁紧构件和输出轴。回转构件中主压电陶瓷通过过盈配合安装在正八边形结构的中间框架中任意两条对边之间;安装主压电陶瓷的两条对边的四条邻边构成一菱形结构,上、下横梁分别位于中间框架的顶部和底部,并与菱形结构的中位线重合。锁紧构件中的两菱形构件对称设置在一中间杆件两端,两菱形构件中均通过过盈配合安装一辅压电陶瓷。滑动轴承、定位轴、下锁紧构件、回转构件、上锁紧构件和输出轴从下至上依次设置。

    一种加载力可实时调节与测量的高频加载装置

    公开(公告)号:CN105973624B

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201610286078.3

    申请日:2016-05-03

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种加载力可实时调节与测量的高频加载装置,包括:固定底座,两间隔平行设置在固定底座上的直线导轨,可滑动地套设在两直线导轨上的压电陶瓷后固定板和压电陶瓷前固定板,压电陶瓷,位于压电陶瓷前固定板的前方的碟簧固定板,安装在碟簧固定板与压电陶瓷前固定板之间的碟簧,紧固连接在碟簧固定板的前侧的压力传感器后固定板,紧固连接在压力传感器后固定板的前侧的压力传感器,与压力传感器的前侧紧固连接的压力传感器前固定板,紧固连接在压力传感器前固定板的前侧的加载头,以及两位于压力传感器前固定板与固定底座之间的弹簧;其中,两直线导轨的后端设置有外螺纹,每直线导轨通过外螺纹配合连接两固定螺母和两锁紧螺母。

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