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公开(公告)号:CN105666225A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610258353.0
申请日:2016-04-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置。伺服电机驱动滚珠丝杠转动,带动丝杠螺母运动,丝杠螺母通过柔性铰链弹性机构带动工作台沿着导轨低速平稳运动。所述柔性铰链弹性联接机构包括位于内部的方形结构刚性联接内平台和位于外部的框型结构刚性联接外平台,刚性联接内平台和刚性联接外平台之间通过柔性铰链单元连接;柔性铰链单元采用直梁形柔性铰链的平行组合形式进行机构布置,对称分布。丝杠螺母座与刚性联接内平台连接,刚性联接外平台与工作台连接。采用柔性铰链弹性机构能够有效降低因滚珠丝杠弯曲对工作台运动直线度的影响,实现超低速平稳直线运动,满足金刚石飞切机床加工光学零件的要求。
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公开(公告)号:CN106017915A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610307831.2
申请日:2016-05-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01M13/02
CPC classification number: G01M13/027
Abstract: 本发明提供了一种滚珠丝杠副精度保持性试验装置,其包括以下内容:直线进给系统包括底座,在底座的两端设置有支架,在其中一支架上设置有伺服电机,伺服电机与滚珠丝杠连接;在底座两侧分别紧固连接有导轨,两导轨上滑动连接有工作台;在滚珠丝杠上套置有丝杠螺母,丝杠螺母通过丝杠螺母座与工作台紧固连接;负载力模拟系统包括固定在底座上的直线电机平台机构,直线电机平台机构的滑动平台与导轨滑动连接;在滑动平台和工作台之间设置有拉压力传感器;预紧力调节系统包括顺次套置在滚珠丝杠上的丝杠螺母、套筒、压力传感器、支撑环和固定环;在支撑环和固定环之间设置有压电陶瓷致动器。本发明通过压电陶瓷致动器的伸缩量来精确控制丝杠螺母预紧力大小,从而保证在滚珠丝杠副运行过程中预紧力的衰减能够自动补偿。
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公开(公告)号:CN103926077A
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201410167828.6
申请日:2014-04-24
Applicant: 清华大学
IPC: G01M13/02
Abstract: 本发明涉及一种滚珠丝杠静动刚度综合测量装置,它包括一底板、一直线进给机构、一扭矩静动刚度测量机构、一轴向静动刚度测量机构和一横向静动刚度测量机构;直线进给机构包括一伺服电机、一扭矩传感器、一滚珠丝杠和一丝杠螺母座;扭矩静动刚度测量机构包括两角板、两法兰盘、两圆光栅和两圆光栅读数头;轴向静动刚度测量机构包括一电动缸、两连接板、两导向杆、两弹簧和两拉压传感器;横向静动刚度测量机构包括一直线导轨、一滑块、一电动缸、两压力传感器、两万向球,第一万向、一连接套、一直线轴承、一滑动杆、一弹簧盒一直线量块。本发明可用于滚珠丝杠的扭转、轴向及横向静动刚度测量。
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公开(公告)号:CN105606847B
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201610115317.9
申请日:2016-03-01
Applicant: 清华大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了属于机械制造技术领域的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。所述振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成,柔性铰链机构由直梁型柔性铰链将位于中间部分的终端平台,位于终端平台的上边、下边、左边、右边的输入平台以及刚性连接基体连接组成。平面二轴振动发生装置通过压电陶瓷驱动器驱动柔性铰链机构运动,通过长度计对终端平台转换块的位移信号进行采集和反馈,带动终端平台转换块上的压电式加速度传感器在较高频率下运动;可以实现压电式加速度传感器的高频率高精度平面圆形轨迹运动,其向心加速度幅值稳定度和频率稳定度高,从而能够实现对压电式加速度传感器横向灵敏度的标定。
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公开(公告)号:CN106092563A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201610374383.8
申请日:2016-05-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01M13/02
CPC classification number: G01M13/027
Abstract: 本发明涉及用于滚珠丝杠副的平面二自由度高频加载装置和测试平台,其中,用于滚珠丝杠副的平面二自由度高频加载装置包括柔性铰链并联机构基体,第一驱动支链和第二驱动支链;其中,柔性铰链并联机构基体正中心设置刚性动平台,过刚性动平台中心的两个垂直方向上分别设置第一柔性支链和第二柔性支链,第一柔性支链和第二柔性支链均对称固定连接于刚性动平台上;在柔性铰链并联机构基体上沿第一柔性支链和第二柔性支链的延长线分别开设直达侧端面的第一安装槽和第二安装槽;第一驱动支链包括安装于第一安装槽内的第一驱动器连接头、第一压电陶瓷制动器和第一拉压力传感器;第二驱动支链包括安装于第二安装槽内的第二驱动器连接头、第二压电陶瓷制动器和第二拉压力传感器。
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公开(公告)号:CN105606847A
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201610115317.9
申请日:2016-03-01
Applicant: 清华大学
IPC: G01P21/00
CPC classification number: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了属于机械制造技术领域的一种面向压电式加速度传感器横向灵敏度标定的振动台。所述振动台由柔性铰链机构固定在平面二轴振动发生装置上构成,柔性铰链机构由直梁型柔性铰链将位于中间部分的终端平台,位于终端平台的上边、下边、左边、右边的输入平台以及刚性连接基体连接组成。平面二轴振动发生装置通过压电陶瓷驱动器驱动柔性铰链机构运动,通过长度计对终端平台转换块的位移信号进行采集和反馈,带动终端平台转换块上的压电式加速度传感器在较高频率下运动;可以实现压电式加速度传感器的高频率高精度平面圆形轨迹运动,其向心加速度幅值稳定度和频率稳定度高,从而能够实现对压电式加速度传感器横向灵敏度的标定。
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公开(公告)号:CN103934723B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201410165778.8
申请日:2014-04-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于机械制造技术领域,具体涉及一种滚珠丝杠预紧力和预拉伸量的可控调节和测量装置。丝杠螺母的预紧力的调节是通过三个结构完全相同,且在两个丝杠螺母之间均匀分布的预紧力装置实现的,每个预紧力装置都可以通过旋紧螺母压缩弹簧对两个丝杠螺母进行预紧,预紧力的大小可以通过拉压传感器进行实时测量,从而可以实现对丝杠螺母预紧力的可控调节;滚珠丝杠的预拉伸是通过对分离式移动平台施加拉力,带动滚珠丝杠固定支撑座移动从而对滚珠丝杠产生拉伸力实现的,预拉伸量通过固定于丝杠端部的千分表进行测量,拉伸力的大小通过固定在移动平台侧面的两个拉压传感器进行实时检测。
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公开(公告)号:CN104638974A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201410724548.0
申请日:2014-12-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压电柔性回转驱动装置,其特征在于:它包括外套筒、基座和转动主体,外套筒固定设置在基座顶面的外周上,转动主体位于外套筒内并设置在基座的中心轴线上。转动主体包括滑动轴承、定位轴、下锁紧构件、回转构件、上锁紧构件和输出轴。回转构件中主压电陶瓷通过过盈配合安装在正八边形结构的中间框架中任意两条对边之间;安装主压电陶瓷的两条对边的四条邻边构成一菱形结构,上、下横梁分别位于中间框架的顶部和底部,并与菱形结构的中位线重合。锁紧构件中的两菱形构件对称设置在一中间杆件两端,两菱形构件中均通过过盈配合安装一辅压电陶瓷。滑动轴承、定位轴、下锁紧构件、回转构件、上锁紧构件和输出轴从下至上依次设置。
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公开(公告)号:CN106392773B
公开(公告)日:2019-10-25
申请号:CN201610818687.9
申请日:2016-09-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种五轴联动机床主轴头姿态角的测量装置及测量方法,包括以下内容:它包括安装在五轴联动机床的主轴头上的基准装置和安装在五轴联动机床的工作台上的检测装置;基准装置包括基准平面和垂直于基准平面设置的夹持部,夹持部插置在五轴联动机床的主轴头的刀柄中;检测装置包括紧固连接在五轴联动机床的工作台上的基板,在基板上紧固连接垂直于基板的固定部,固定部与垂直于基板设置的长度计紧固连接。本发明充分利用机床自身结构特点,降低了制造成本,简化了结构及测量环节,因此引入误差少,可以达到较高的测量精度。本发明的测量方法利用了五轴联动机床直线进给轴闭环控制的特点,使得结构大为简化,降低了测量成本。
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公开(公告)号:CN105666225B
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:CN201610258353.0
申请日:2016-04-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置。伺服电机驱动滚珠丝杠转动,带动丝杠螺母运动,丝杠螺母通过柔性铰链弹性机构带动工作台沿着导轨低速平稳运动。所述柔性铰链弹性联接机构包括位于内部的方形结构刚性联接内平台和位于外部的框型结构刚性联接外平台,刚性联接内平台和刚性联接外平台之间通过柔性铰链单元连接;柔性铰链单元采用直梁形柔性铰链的平行组合形式进行机构布置,对称分布。丝杠螺母座与刚性联接内平台连接,刚性联接外平台与工作台连接。采用柔性铰链弹性机构能够有效降低因滚珠丝杠弯曲对工作台运动直线度的影响,实现超低速平稳直线运动,满足金刚石飞切机床加工光学零件的要求。
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